雙溫區(qū)管式爐采用精密鋼板制作,表面靜電噴塑,,外形美觀,。工作室由剛玉管制成,加熱元件根據(jù)溫度需要匹配(硅碳棒或硅鉬棒),,保溫材料為輕質(zhì)保溫保溫加硅酸鋁耐火纖維棉,,與電爐配套的溫控部分采用PID可調(diào)智能儀表控制可對(duì)多個(gè)程序段進(jìn)行編程控制產(chǎn)品的燒成過(guò)程,并具有過(guò)流,、限流,、過(guò)熱等保護(hù)功能。
雙溫區(qū)管式爐主要用于高校實(shí)驗(yàn)室,、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,,用于高、中,、低溫CVD工藝,,如碳納米管的開發(fā)、晶體硅襯底涂層,、金屬材料擴(kuò)散焊和真空或氣氛中熱處理等設(shè)備必須按照操作規(guī)范使用,,還應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
1、檢查氣路是否暢通或泄漏,。首先正確連接管道,,然后放空氧氣。氧氣進(jìn)入吸收瓶,,產(chǎn)生正常氣泡,,說(shuō)明氣路正常,,否則說(shuō)明氣路堵塞或瓷管破裂,應(yīng)該正常處理,。
2,、打開電源,打開控制器,,先將雙溫區(qū)管式爐的工作溫度預(yù)設(shè)為1250℃,,然后將電壓調(diào)至60V,加熱半小時(shí),,然后將電壓調(diào)至100V,,再加熱半小時(shí),調(diào)至150V后,,升溫至1250℃,。如果不按照逐漸升高電壓并保證足夠時(shí)間的方法升溫,硅碳棒和瓷管很容易被快速加熱破壞,,因此必須嚴(yán)格遵守此程序,,以避免大量材料浪費(fèi)。
3,、工作溫度保持在1250℃左右即可分析樣品,;分析結(jié)束后,將電壓調(diào)至零,,關(guān)閉控制器開關(guān),,關(guān)閉電源,分析結(jié)束后關(guān)閉氧氣表閥門和氣瓶總閥,。
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