近年來,，市場對質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格,，國際上對環(huán)保的要求也越來越嚴(yán)格，我國許多高密度清潔行業(yè)面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)?，F(xiàn)在市面上出現(xiàn)的超聲波清洗機(jī)都無法達(dá)到改裝的效果,，它們只能清潔表面上的一些可見物體。由于制造過程中的各種缺陷,，衍生出等離子清洗機(jī)等高科技產(chǎn)品,。多功能試樣表面處理機(jī)可以實(shí)現(xiàn)表面改性、清洗和產(chǎn)品性能提升,，大大降低了產(chǎn)品在制造過程中造成的不良率,，從而提高了產(chǎn)品質(zhì)量，降低了成本等等,。目前,，等離子清洗機(jī)給很多工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)帶來了很大的便利。
多功能試樣表面處理機(jī)將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中,，通入少量氧氣，加1500V高壓,，高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號,，使石英管內(nèi)形成強(qiáng)電磁場,，氧被電離，形成氧離子,、活化氧原子,、氧分子和電子混合的等離子輝光柱?；钚匝酰ɑ钚栽友酰┛梢詫⒕埘啺繁∧ぱ杆傺趸蓳]發(fā)性氣體,，通過機(jī)械泵將其抽走，從而去除硅片上的聚酰亞胺薄膜,。等離子脫膠的優(yōu)點(diǎn)是脫膠操作簡單,、脫膠效率高、表面干凈光滑,、無劃痕,、成本低、環(huán)保,。
多功能試樣表面處理機(jī)一般采用電容耦合等離子體平行板反應(yīng)器,。在平行電極反應(yīng)器中，反應(yīng)離子蝕刻腔采用陰極面積小陽極面積大的非對稱設(shè)計(jì),，被蝕刻的物體放置在面積較小的電極上,。在射頻電源產(chǎn)生的熱運(yùn)動作用下，帶負(fù)電的自由電子質(zhì)量小,，運(yùn)動速度快,，迅速到達(dá)陰極；而正離子由于質(zhì)量大,、速度慢,，不能同時(shí)到達(dá)陰極，從而使陰極附近形成帶負(fù)電荷的鞘層,。在護(hù)套的加速作用下,，正離子垂直轟擊硅片表面，加速表面的化學(xué)反應(yīng)和反應(yīng)產(chǎn)物的分離,，產(chǎn)生很高的蝕刻速率,。離子轟擊還可以實(shí)現(xiàn)各向異性蝕刻，實(shí)現(xiàn)與等離子脫脂和等離子蝕刻相同的原理,，區(qū)別在于反應(yīng)氣體的類型和等離子體的激發(fā)方式,。
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