多功能試樣表面處理機(jī)是用于掃描電子顯微鏡和電子探針的樣品制備的設(shè)備,。它可以在高純氬氣的保護(hù)下進(jìn)行各種離子處理,，也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮。通過(guò)該設(shè)備處理的樣品可用于外觀觀察和樣品成分分析,，尤其是成分的定量分析更適合,。采用分子泵系統(tǒng)，特別適合真空度要求高,，真空環(huán)境良好的用戶,。
多功能試樣表面處理機(jī)在高純氬氣的保護(hù)下，它可以進(jìn)行各種離子處理,。也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮,。用該設(shè)備處理的樣品可用于樣品的形態(tài)觀察和成分分析。尤其是成分的定量分析更適合,。該設(shè)備采用由分子泵和機(jī)械泵組成的高真空單元系統(tǒng),。樣品以三種方式移動(dòng)：平面旋轉(zhuǎn)，傾斜旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng),。
多功能試樣表面處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域：離子噴涂,，離子濺射，離子清洗,，碳的真空蒸鍍,，金屬的真空蒸鍍等。它是一種適用于樣品制備的多功能機(jī)器,，如掃描電子顯微鏡,，電子探針和透射電子顯微鏡。它具有真空蒸發(fā)臺(tái),，離子濺射和蝕刻裝置的多種復(fù)合功能,，以及可進(jìn)行多次移動(dòng)的樣品臺(tái)。它可以在平面上旋轉(zhuǎn),，沿傾斜方向旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng),。它可以對(duì)樣品執(zhí)行各種處理，例如：離子噴涂（在氣體電離條件下為真空蒸發(fā)）,，離子濺射,，離子蝕刻，離子清洗和離子稀化,，還可以進(jìn)行真空蒸發(fā)和碳蒸汽處理,。因此，它適用于金屬和合金樣品的制備。
1,、鐘罩尺寸：內(nèi)徑Φ250mm×高340mmØ玻璃處理室：內(nèi)徑Φ88mm×高140mmØ內(nèi)徑：Φ88mm×高57mm,。
2、樣品臺(tái)尺寸：Φ40mm,。
3,、金靶尺寸：Φ38mm。
4,、真空度：優(yōu)于2×10-3Pa,。
5、樣品移動(dòng)方式：平面旋轉(zhuǎn),，傾斜旋轉(zhuǎn),，傾斜進(jìn)動(dòng)Ø真空系統(tǒng)：由分子泵和機(jī)械組成的高真空泵單元。
6,、真空檢測(cè)：熱電偶表,，冷表。
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