賀德克壓力傳感器的結(jié)構(gòu)電容膜盒式進(jìn)氣歧管壓力傳感器,， HYDAC壓力傳感器結(jié)構(gòu)介紹： 1.傳感器結(jié)構(gòu)： 傳感器結(jié)構(gòu) 由兩片用絕緣墊平行 隔開的氧化鋁膜片形成電 隔開的氧化鋁膜片形成電 容。在鋁片的內(nèi)表面貼有 兩片極薄的硅片， 兩片極薄的硅片,，分別與 一根引線相連,。 一根引線相連。 氧化鋁膜片與 膜片與絕緣墊 氧化鋁膜片與絕緣墊 圍成的空腔抽成真空提供 壓力基準(zhǔn),。 

        HYDAC 壓力傳感器在汽車上應(yīng)用較廣,，它的作用是檢測(cè)氣體或 壓力傳感器在汽車上應(yīng)用較廣， 液體的壓力變化情況,， 液體的壓力變化情況,，并把檢測(cè)結(jié)果轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸入給電 控單元。 控單元,。 HYDAC壓力傳感器結(jié)構(gòu)介紹： 1.傳感器結(jié)構(gòu)： 傳感器結(jié)構(gòu) 1) 一對(duì)真空膜盒(壓力計(jì))：檢測(cè)敏感元件,。 一對(duì)真空膜盒(壓力計(jì))：檢測(cè)敏感元件。 )：檢測(cè)敏感元件 2) 鐵心和傳感線圈：轉(zhuǎn)換為電量的元件,。 鐵心和傳感線圈：轉(zhuǎn)換為電量的元件,。彈片 鐵心 接進(jìn)氣歧管 傳感線圈 真空膜盒 b) 節(jié)氣門關(guān)閉狀態(tài) a) 節(jié)氣門開啟狀態(tài) 電磁式進(jìn)氣壓力傳感器結(jié)構(gòu)圖 P 10 2.傳感器工作原理 2.傳感器工作原理 具有彈性的真空膜盒抽成真空。外部氣壓變化時(shí),， 具有彈性的真空膜盒抽成真空,。外部氣壓變化時(shí)，膜盒 產(chǎn)生凸出或凹進(jìn)的現(xiàn)象,，通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),， 產(chǎn)生凸出或凹進(jìn)的現(xiàn)象，通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),，使線圈中鐵心的位 置發(fā)生改變,，從而使線圈中穿過(guò)的磁通量發(fā)生變化， 置發(fā)生改變,，從而使線圈中穿過(guò)的磁通量發(fā)生變化,，于是線 圈變產(chǎn)生出大小不同的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)來(lái)， 圈變產(chǎn)生出大小不同的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)來(lái),，由此即把氣壓變化的 物理量轉(zhuǎn)換成由線圈兩端輸出的電信號(hào),。 物理量轉(zhuǎn)換成由線圈兩端輸出的電信號(hào)。彈片 鐵心 接進(jìn)氣歧管 傳感線圈 真空膜盒 b) 節(jié)氣門關(guān)閉狀態(tài) P 11 a) 節(jié)氣門開啟狀態(tài) 當(dāng)節(jié)氣門開啟時(shí),，進(jìn)氣歧管內(nèi)氣體的壓力增加即真 節(jié)氣門開啟時(shí) 空度減小,，真空膜盒被壓縮，把動(dòng)鐵心往右拉,，如圖a所示 所示,， 空度減小，真空膜盒被壓縮,，把動(dòng)鐵心往右拉,，如圖 所示,， 于是減小了磁軛與動(dòng)鐵心(銜鐵)的間隙， 于是減小了磁軛與動(dòng)鐵心(銜鐵)的間隙,，使傳感線圈中的 感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)增大,。當(dāng)此信號(hào)輸出給ECU后，ECU控制噴油器,， 控制噴油器,， 感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)增大。當(dāng)此信號(hào)輸出給 后 控制噴油器 使燃油的噴射量增加,。節(jié)氣門關(guān)閉時(shí) 則相反,。 使燃油的噴射量增加。節(jié)氣門關(guān)閉時(shí),，則相反,。彈片 鐵心 接進(jìn)氣歧管 傳感線圈 真空膜盒 b) 節(jié)氣門關(guān)閉狀態(tài) P 12 a) 節(jié)氣門開啟狀態(tài)賀德克EDS344系列壓力傳感器的結(jié)構(gòu)。

   ：1) 硅膜片：用半導(dǎo)體材料硅制 硅膜片： 成的,，是利用半導(dǎo)體壓阻效 成的,，是利用半導(dǎo)體壓阻效 的壓力轉(zhuǎn)換元件。 應(yīng)的壓力轉(zhuǎn)換元件,。硅膜片 的一面是真空室,， 的一面是真空室，另一面是 歧管壓力,。 進(jìn)氣 歧管壓力,。 2) 真空室：提供壓力基準(zhǔn)。 真空室：提供壓力基準(zhǔn),。 3) 濾清器：濾除進(jìn)氣雜質(zhì),，以 濾清器：濾除進(jìn)氣雜質(zhì)， 免膜片受到腐蝕和臟污而 ,。 4) IC：集成傳感器電路,。 ：集成傳感器電路。 5) 接線端： 接線端：硅膜片 真空室 IC 濾清器 接線端 進(jìn)氣歧管壓力 壓阻效應(yīng)式進(jìn)氣壓力傳感器 結(jié)構(gòu)圖 P 13 2.傳感器工作原理 2.傳感器工作原理 壓阻式歧管壓力傳感器的硅 膜片一面通真空室,， 膜片一面通真空室,，另一面導(dǎo)入 進(jìn)氣歧管壓力。在壓差作用下,， 進(jìn)氣歧管壓力,。在壓差作用下， 硅膜片就會(huì)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)變而產(chǎn)生 應(yīng)力,， 應(yīng)力,，應(yīng)變電阻的阻值在膜片應(yīng) 力的作用下就會(huì)發(fā)生變化，電橋 力的作用下就會(huì)發(fā)生變化,， 上電阻值的平衡就被打破,， 上電阻值的平衡就被打破，從而 使電橋輸出電壓變化,。 使電橋輸出電壓變化,。由于該電 壓值很小， 壓值很小,，再經(jīng)過(guò)混合集成電路 真空室 的放大處理后,， 的放大處理后，從ECU的PIM端 的 端 子提供給微電腦電路,。1.壓力傳感器按結(jié)構(gòu)可分為 1.壓力傳感器按結(jié)構(gòu)可分為 1)電磁式：或稱膜盒傳動(dòng)的可變電感式,、差動(dòng)變壓器組合 )電磁式：或稱膜盒傳動(dòng)的可變電感式、 形管等,。 敏感元件有膜盒,、波紋管、U形管等 式,。敏感元件有膜盒,、波紋管、U形管等,。