BURKERT氣體質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x00203822用于測(cè)量上方的氣體質(zhì)量流量流量范圍大,。 熱MEMS傳感器是直接位于氣流中，因此達(dá)到非?？斓捻憫?yīng)時(shí)間,?？梢赃x擇將8701型校準(zhǔn)為兩個(gè)不同的氣體； 用戶可以在這兩種氣體,。 作為電接口,，模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)和現(xiàn)場(chǎng)總線是可用。

   BURKERT氣體質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x00203822根據(jù)以下熱原理進(jìn)行操作：具有提供獨(dú)立于壓力和溫度,?？倸饬鞯囊恍〔糠直晦D(zhuǎn)移到一小部分，特別是設(shè)計(jì)的旁路通道確保層流條件,。傳感器元件是浸入該流動(dòng)通道壁中的芯片,。該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)，包含一個(gè)加熱電阻和一個(gè)兩個(gè)對(duì)稱布置的溫度傳感器（熱電堆）加熱器的上游和下游,。 的差分電壓熱電堆是通過(guò)流量傳感器的質(zhì)量流量的量度,。校準(zhǔn)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了傳感器的分配信號(hào)通過(guò)設(shè)備的總流量。
MFM在應(yīng)用中能否正常運(yùn)行的決定性因素是流體的相容性,，正常的進(jìn)口壓力和正確的壓力,。流量計(jì)范圍的選擇。 MFM上的壓降取決于流量和工作壓力,?？諝鈺r(shí)的壓力損失特性流經(jīng)。用于確定壓力損失需要計(jì)算另一種氣體空氣當(dāng)量并尊重與其他氣體所需的射流,。

電氣參數(shù)：
電壓公差±10％
殘留紋波<2％
功耗2.5 W / 5 W（帶現(xiàn)場(chǎng)總線）
輸出信號(hào)
（過(guò)程值）
電流（電壓）
0 ... 5 V,，0 ... 10 V，0 ... 20 mA或4 ... 20 mA
10毫安
600Ω
數(shù)字通訊
通過(guò)適配器可能：
RS232,，Modbus RTU（通過(guò)RS適配器）
RS485,，RS422或USB
（請(qǐng)參閱第3頁(yè)的附件表）
現(xiàn)場(chǎng)總線選件PROFIBUS DP，CANopen
防護(hù)等級(jí)IP40
尺寸[mm]參見(jiàn)第5…6頁(yè)的圖紙
總重量約500克（鋁制機(jī)身）
水平或垂直安裝
發(fā)光二極管
（默認(rèn)功能,，
其他功能可編程）
電源指示
限制（帶模擬信號(hào)）/通訊
（帶有現(xiàn)場(chǎng)總線）和錯(cuò)誤
額定流量范圍1）
（Qnom）
10 mlN / min2）至80 l
N / min（N2）,，
請(qǐng)參閱第40頁(yè)的表。 2
跨度1:50（2…100％）,，可根據(jù)要求提高跨度
工作氣體中性,，無(wú)污染氣體，
其他要求
標(biāo)定氣體使用轉(zhuǎn)換系數(shù)的工作氣體或空氣
運(yùn)營(yíng)壓力
（入口壓力）
10 bar（145磅/平方英寸）
氣體溫度-10…+ 70°C（-10…+ 60°C（含氧氣）
環(huán)境溫度-10…+ 50°C
準(zhǔn)確性
（預(yù)熱1分鐘后）
相對(duì)誤差±0.8％ （閱讀）
±0.3％F.S. （滿刻度）
重復(fù)精度±0.1％F.S.
響應(yīng)時(shí)間（t95％）<300毫秒