FFU全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)單元”,。確切地說是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置,。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出,。
該機(jī)組設(shè)計(jì)整體靈活,，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。它適合用于半導(dǎo)體,、電子,、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
FFU選型的要點(diǎn)：
FFU 的主要參數(shù)：尺寸(mm),，面風(fēng)速(m/s),，機(jī)外余壓(Pa)，噪音(dBA),，功耗(W),，振動(dòng)(mm/s)，壽命(hours)等,。
◆尺寸-目前,，國內(nèi)、外常用的模數(shù)有1200X600mm(4英尺X2英尺),、1200X900mm(4英尺X 3英尺),、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mm,。
◆材質(zhì)-根據(jù)使用環(huán)境及成本選擇,，目前常用鍍鋁鋅材質(zhì)，能滿足潔凈室的環(huán)境需求(防腐蝕)且成本低,；
◆風(fēng)量或風(fēng)速-根據(jù)換氣量及尺寸換算出面風(fēng)速,，一般范圍在0.3~0.45m/s；
◆靜壓-根據(jù)過濾器規(guī)格及風(fēng)道的結(jié)構(gòu)阻力,。 FFU 的機(jī)外余壓都是足以克服循環(huán)通道上的阻力,。當(dāng) 過濾器 為初阻力，且保證FFU送風(fēng)斷面風(fēng)速為0.35m/s時(shí),，不同 FFU 的機(jī)外余壓均在100Pa左右,，有的高達(dá)130Pa。
◆濾網(wǎng)-應(yīng)不同制程需求,，常用到H13,H14,U15和U16甚至U17的過濾器(歐規(guī)),，有時(shí)應(yīng)生產(chǎn)工藝的需求會(huì)要求采用低硼的材料，以進(jìn)口品居多,。
◆馬達(dá)-AC(交流電)和DC(直流電)兩種,。一般來講Class 1000~100,000的潔凈室常用ACFFU，而潔凈度較高區(qū)域則用DC FFU,。就是因?yàn)楦叩燃?jí)潔凈室對(duì)于溫濕度要求更為嚴(yán)格,，采有DC FFU 就能應(yīng)用軟件控制，精確度較高,。對(duì)于FFU的控制系統(tǒng)在下面另闡述,。
◆振動(dòng)-一般是符合德規(guī)G2.5標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)槲⒄駝?dòng)的控制對(duì)于生產(chǎn)工藝非常重要,。
◆噪音-一般設(shè)定為54dB(A)@1.5m,，即距 過濾器 下表面1.5m處噪音值小于54dB(A),。FFU的聲壓級(jí)噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間。比較好的品牌其噪聲在50dB(A),。
◆絕緣等級(jí)-一般為Class E,B或F,。
◆軸承壽命-一般為L(zhǎng)10≧40,000hours,即10%的軸承損壞的最大使用時(shí)間不小于40,000hours。
◆能效比-耗電量與風(fēng)量的比值,，級(jí)效比值越低越節(jié)能
