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殘余氣體分析儀

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) XL.43-LC
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2016-07-05 13:58:35瀏覽次數(shù):333

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

殘余氣體分析儀
質(zhì)量數(shù)測(cè)量范圍:1-100AMU/1-200AMU
樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空
Z小可檢分壓:5exp-12Torr;如使用電子倍增器,Z小可檢分壓降至5exp-14Torr
分辨率:0.5AMU(10%峰高)
燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時(shí)50mA

詳細(xì)介紹

 

 
產(chǎn)品標(biāo)題殘余氣體分析儀
型號(hào)XL.43-LC
圖片
簡(jiǎn)介
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 質(zhì)量數(shù)測(cè)量范圍:1-100AMU/1-200AMU
    樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空
    zui小可檢分壓:5exp-12Torr;如使用電子倍增器,zui小可檢分壓降至5exp-14Torr
    分辨率:0.5AMU(10%峰高)
    燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時(shí)50mA
    電子能量:30-150V,除氣時(shí)200V
    離子能量:1-10V
    靈敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);測(cè)量條件是氮?dú)獾姆肿与x子峰,0.5AMU峰寬(10%峰高),1mA發(fā)射電流
    穩(wěn)定性:質(zhì)量數(shù) ±0.1AMU(30分鐘預(yù)熱)
    峰高 ±2%(30分鐘預(yù)熱)
  • 主要特點(diǎn)
  • 性能出色,價(jià)格很有競(jìng)爭(zhēng)力,非常適用于半導(dǎo)體和薄膜沉積過(guò)程中的檢漏和殘余氣體分析
    軟件支持多種數(shù)據(jù)顯示方式
    四極桿參數(shù)可自動(dòng)優(yōu)化
    內(nèi)置譜圖,幫助確認(rèn)組分
  • 儀器介紹
  • LC系列有出色的性能價(jià)格比,非常適用于過(guò)程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質(zhì)量數(shù)測(cè)量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質(zhì)譜圖,棒狀圖(省略分辨率信息),趨勢(shì)圖(信號(hào)隨時(shí)間的變化),檢漏模式,列表模式,指針模式等;用戶可對(duì)上述顯示方式進(jìn)行任意組合并保存,方便使用;軟件還自動(dòng)生成日志文件,記錄燈絲狀態(tài),報(bào)警事件等,儀器開/關(guān),方便管理
  • 分析方法
  • 此儀器尚未上傳分析方法
 

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