簡(jiǎn)介 | 紅外探傷測(cè)試儀-是專門用于多晶硅片生產(chǎn)中的硅塊硅棒硅片的裂縫,、雜質(zhì)、黑點(diǎn),、陰影,、微晶等缺陷探傷的儀器。 紅外探傷測(cè)試儀 - 主要原理:在特定光源和紅外探測(cè)器的協(xié)助下,,SY.29-NIR型紅外探傷測(cè)試儀能夠穿透200mm深度的硅塊,,純硅料幾乎不吸收這個(gè)波段的波長(zhǎng),,但是如果硅塊里面有微粒,、夾雜(通常為SiC)、隱裂,,則這些雜質(zhì)將吸收紅外光,,因此在成像系統(tǒng)中將呈現(xiàn)出來(lái),而且這些圖像將通過(guò)我們的軟件自動(dòng)生成三維模型圖像,。 SY.29-NIR型多晶硅紅外探傷測(cè)試儀主要由紅外光源,,旋轉(zhuǎn)臺(tái),成像系統(tǒng)構(gòu)成,。成像系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置包括光照亮度,,對(duì)比度,伽馬射線和一體化的時(shí)間設(shè)置,,獲取模式選擇和損壞像素管理,。旋轉(zhuǎn)臺(tái)由單軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),同時(shí)擁有光電編碼器的位置檢查的功能,。軟件也可以直接控制伺服電機(jī),。 通常都是在硅塊清洗處理后線切割前進(jìn)行紅外探傷,在線切割前進(jìn)行紅外探傷不僅可以減少線痕片,,而且可以減少SiC斷線,,大大提高效益,這些夾雜都可以清晰地反映在我們的紅外探傷系統(tǒng)中,。斷線的修復(fù)是一個(gè)費(fèi)時(shí)費(fèi)力的工作,,同時(shí)不是所有的斷線都能夠成功。因此它是多晶硅片生產(chǎn)中*的工具,。


紅外探傷測(cè)試儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 為太陽(yáng)能多晶硅片過(guò)程中的質(zhì)量控制提供了強(qiáng)大的監(jiān)測(cè)工具 ■ 檢測(cè)速度快,,平均每個(gè)硅塊檢測(cè)時(shí)間為不超過(guò)1分鐘 ■ NIRVision軟件能夠分析4面探傷結(jié)果,,并且直接將結(jié)果轉(zhuǎn)換成三維模型圖像 ■ 成像過(guò)程將自動(dòng)標(biāo)出夾雜的位置所在 ■ *的加強(qiáng)型內(nèi)插法為高分辨率的雜質(zhì)探傷功能提供了強(qiáng)大的技術(shù)保障 ■ 采用歐洲數(shù)控工程鋁合金材料 ■ 表面都采用了高強(qiáng)度漆面和電氧化工藝保護(hù) ■ 系統(tǒng)外框采用高質(zhì)量工業(yè)設(shè)計(jì) ■ 所有的部件的設(shè)計(jì)都達(dá)到了*高強(qiáng)度使用及zui小維護(hù)量的要求 ■ 能夠通過(guò)自動(dòng)或手動(dòng)旋轉(zhuǎn)對(duì)硅塊的前后左右四面和上下兩面進(jìn)行全面探傷。 ■ 紅外光源通過(guò)交直流光源進(jìn)行控制,,光強(qiáng)可以通過(guò)軟件直接控制,,同時(shí)它具有過(guò)熱保護(hù)功能 ■ 同時(shí)軟件包含了雜質(zhì)圖像的管理分析功能 ■ 穩(wěn)定性和耐用性俱佳。 ■ 探傷測(cè)試面進(jìn)行拋光處理,,因此我們*在線切割之前進(jìn)行紅外探傷 ■ 紅外成像光源受電阻率影響,,硅塊電阻率越低,則對(duì)紅外光的吸收越多 ■ 一般電阻率不能低于0.5Ohm*Cm,我們*的電阻率在0.8Ohm*Cm以上


紅外探傷測(cè)試儀 - 技術(shù)指標(biāo)
■ 主要探測(cè)指標(biāo):夾雜(通常為SiC),,隱裂,,微粒等 ■ 硅塊電阻率:≥0.8Ohm*Cm(*) ■ 檢測(cè)時(shí)間:平均每個(gè)硅塊1分鐘 ■ zui大探測(cè)深度:200mm ■ 外框和箱體 > 尺寸:143x53x55 > 外框采用數(shù)控工程鋁合金 > 外框是覆蓋靜電強(qiáng)力漆鋁面板 > 主機(jī)重量:98 kg > 附件重量:25 kg ■ 旋轉(zhuǎn)臺(tái) > 采用單軸伺服電機(jī) > zui大承載量:40kg > 具有過(guò)流保護(hù)以防止損傷和電機(jī)燒毀 > 無(wú)步進(jìn)損失,高分辨率解碼機(jī)器 ■ 紅外光源 > 高強(qiáng)度NIR鹵燈,,273mm加熱波長(zhǎng) > 功率:230V, 1000W > 溫度:25-60攝氏度 > 光強(qiáng)可通過(guò)軟件控制 > 軟件具有過(guò)熱保護(hù) ■ 觀測(cè)儀 > 采用紅外CCD控溫 > 12位ADC > 頻率:60Hz和100Hz兩個(gè)選擇 > 像素間距: 30μm > 分辨率:: 320x256 像素 > 可手動(dòng)調(diào)節(jié)紅外鏡頭 |