四點探針法,,全自動化運行測量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理,;參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻,;可設定探針壓力值、測試點數(shù),、多種測量模式選擇,;真空環(huán)境,可顯示:方阻,、電阻率,、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值,、提供標準校準電阻件.報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
關鍵詞:
精密測量儀器電阻 電阻自動測試儀 自動電阻測試儀 電阻測試儀 測試儀電阻 四探針電阻測試儀

產(chǎn)品用途:
晶圓,、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量,;選擇性發(fā)射極擴散片;表面鈍化片,;交叉指樣PN結擴散片,;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等,;半導體材料分析,,鐵電材料,納米材料,,太陽能電池,,LCD,OLED,,觸摸屏等.
儀器特點:
四點探針法,,全自動化運行測量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理,;參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻,;可設定探針壓力值、測試點數(shù),、多種測量模式選擇,;真空環(huán)境,可顯示:方阻,、電阻率,、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖,、溫濕度值,、提供標準校準電阻件.報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
技術參數(shù):
規(guī)格型號 | BX-Y1227 |
1.電阻 | 10^-5~2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6~2×10^6Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,,1mA,,10mA,100mA |
5.電流精度 | ±0.1% |
6.電阻精度 | ≤0.3% |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面:電阻,、電阻率,、電導率、方阻,、溫度,、單位換算、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、2D,、3D圖譜、壓力,、報表生成等 |
8.壓力范圍: | 探針壓力可調范圍:軟件控制,100-500g可調 |
9.探針 | 針間絕緣電阻:≥1000MΩ,;機械游移率:≤0.3% 圓頭銅鍍金材質,探針間距1mm,;2mm,;3mm選配,其他規(guī)格可定制 |
10.可測晶片尺寸選購 | 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,,12寸300mm),; 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
11.分析模式 | 單點、五點,、九點,、多點、直徑掃描,、面掃描等模式的自動測試 |
12.重復性 | 測量重復性:重復性≤3% |
13.防護功能 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
14.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W |
15.選購項目 | 電腦和打印機
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