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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	類型	數(shù)字式電阻測試儀
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

關(guān)鍵詞：全自動四探針電阻測量測試儀

精密測量儀器電阻電阻自動測試儀自動電阻測試儀電阻測試儀測試儀電阻四探針電阻測試儀

產(chǎn)品用途：

晶圓,、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量,；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片,；交叉指樣PN結(jié)擴散片,；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等,；半導(dǎo)體材料分析,，鐵電材料，納米材料,，太陽能電池,，LCD，OLED,，觸摸屏等.

儀器特點：

全自動四探針電阻測量測試儀四點探針法,，全自動化運行測量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理,；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻,；可設(shè)定探針壓力值、測試點數(shù),、多種測量模式選擇,；真空環(huán)境，可顯示：方阻,、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖,、溫濕度值,、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.

技術(shù)參數(shù)：

規(guī)格型號	BX-Y1227
1.電阻	10^-5～2×10^5Ω
2.方塊電阻	10^-5～2×10^5Ω/□
3.電阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm
4.測試電流	0.1μA.μA.0μA，100μA,，1mA,，10mA,，100mA
5.電流精度	±0.1%
6.電阻精度	≤0.3%
7.PC軟件操作	PC軟件界面：電阻、電阻率,、電導(dǎo)率,、方阻、溫度,、單位換算,、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、2D,、3D圖譜、壓力,、報表生成等
8.壓力范圍：	探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào)
9.探針	針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm,；2mm,；3mm選配，其他規(guī)格可定制
10.可測晶片尺寸選購	晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm,，12寸300mm）,；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式	單點、五點,、九點,、多點、直徑掃描,、面掃描等模式的自動測試
12.重復(fù)性	測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3%
13.防護(hù)功能	具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報
14.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<100W
15.選購項目	電腦和打印機