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高真空復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備,。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理,，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),，具有啟動(dòng)時(shí)間快,、真空度高、操作方便等特點(diǎn),。廣泛應(yīng)用于表面分析,、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù),、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域,。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室,、閥門及真空管路,、電器控制系統(tǒng)等

高真空復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理,，利用機(jī)械泵,、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高,、操作方便等特點(diǎn),。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù),、等離子體技術(shù),、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng),、真空室,、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	ZK-110F	ZK-110YCF	ZK-150CF
控制方式	手動(dòng)控制	手動(dòng)人機(jī)界面控制	手動(dòng)人機(jī)界面控制
前級(jí)泵	雙極4旋片真空泵	雙極4旋片真空泵	無
前級(jí)泵抽氣速率	2.2L/S （對真空環(huán)境要求潔凈的客戶可選配無油干泵）	2.2L/S （對真空環(huán)境要求潔凈的客戶可選配無油干泵）	無
前級(jí)泵極限壓強(qiáng)	≤5Pa	≤5Pa	無
分子泵	F-100/110 43000轉(zhuǎn)/分	FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分	FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分
分子泵抽氣速率	100L/S	140L/S	140L/S
分子泵啟動(dòng)時(shí)間	≤3min	≤2min	≤2min
空載極限壓強(qiáng)	≤1X10-4Pa	≤1X10-4Pa	≤1X10-4Pa
真空測量范圍	電阻單元1E﹢5到1E-1 Pa 電離單元 5到1E-5Pa	冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 1E﹢2到1E-5 Pa	冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 1E﹢2到1E-5 Pa
抽氣接口	KF25	KF25	KF25
閥門類型	KF25手動(dòng)擋板閥	KF25手動(dòng)擋板閥	KF25手動(dòng)擋板閥
系統(tǒng)電源	AC220V	AC220V	AC220V
系統(tǒng)功率	1.5KW	1．5KW	≤750W
環(huán)境溫度	5~32℃	5~32℃	5~32℃
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷卻	強(qiáng)制風(fēng)冷卻	強(qiáng)制風(fēng)冷卻
濕度	≤80%	≤80%	≤80%
噪音	＜60分貝	＜60分貝	＜60分貝
外形尺寸	430X500X650mm	330X495X550mm	250 X360 X 300mm
重量	65KG	55KG	25KG
隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1.5米不銹鋼波紋管x1根說明書X1本電源線x1根

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