真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生,、改善和維持真空的裝置,。真空泵可以定義為：利用機(jī)械,、物理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備,。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn),、數(shù)百萬(wàn)升,。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型,，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵,。隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求,，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍,，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵,。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要,，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用,。

各種真空泵的工作原理

水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理

    水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵,，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa,。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī),，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力,。

    水環(huán)泵zui初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油,、化工,、機(jī)械、礦山,、輕工,、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中,，如真空過(guò)濾,、真空引水、真空送料,、真空蒸發(fā),、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用,。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視,。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,，故可抽除易燃、易爆的氣體,，此外還可抽除含塵,、含水的氣體，因此,，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多,。

    在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),，水被葉輪拋向四周,，由于離心力的作用,，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）,。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔,。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,，且與端面上的吸氣口相通,，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕,；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),，小腔由大變小，使氣體被壓縮,；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),，氣體便被排出泵外。

    綜上所述,，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣,、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/p>

羅茨泵的工作原理

    羅茨泵在泵腔內(nèi),，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行,。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,，通常壓縮比很低，故高,、中真空泵需要前級(jí)泵,。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空,。為了提高泵的極限真空度,，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

    羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出,。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以,，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。

    但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高,。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外,。

 旋片式真空泵工作原理

    旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵,。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵,。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械,、軍工,、電子、化工,、輕工,、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

    旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,，若附有氣鎮(zhèn)裝置,，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過(guò)高的,，對(duì)金屬有腐蝕性的,、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。

    旋片泵是真空技術(shù)中zui基本的真空獲得設(shè)備之一,。旋片泵多為中小型泵,。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí),，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái),。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度,。

    旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa,、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%,、50%和20%,。

    旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子,、旋片,、端蓋,、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙）,，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí),，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。

    兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子,、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A,、B、C三部分,，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,，正處于吸氣過(guò)程,。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程,。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹）,，氣體壓強(qiáng)降低,，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入,。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮,，容積逐漸縮小,，zui后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí),，排氣閥被壓縮氣體推開,，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的,。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走,，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān),，因而提高了極限真空度,。