薄膜電容檢測器的檢測氣室內(nèi)充填有待測組分氣體。選擇性好的儀表一般是分析什么氣體,，則檢測室中就充填什么氣體,。但有的時(shí)候，儀表要分析腐蝕性強(qiáng)的氣體,，考慮到材料的原因,，檢測器氣室中就不可能充填這種帶強(qiáng)腐蝕性的氣體，只能選擇一種與待測組分特征吸收波長相近的氣體,，這樣，儀表的選擇性就會差一點(diǎn),。充填氣體的濃度則要根據(jù)具體情況來定,，對于吸收紅外線能力很強(qiáng)的CO2、CO等氣體,，充填氣只要含10%-18%的CO2,、CO就可以了，其余的氣體則是Ar或N2,，最好充填Ar,，因?yàn)?/span>Ar的熱容量小，升高到相同溫度,，Ar所需要的的熱量少,。不能充純氣體，因?yàn)榧儦怏w的濃度太高時(shí),，輻射來的紅外線在靠近窗口處會被吸收掉,，不能再深入到檢測器氣室的深處，這樣部分熱量就在窗口附近傳出損失掉,，這就會影響儀表的靈敏度,。充填氣體中待測組分濃度的大小，應(yīng)以使紅外線輻射到達(dá)檢測器氣室底部時(shí)剛好被吸收掉,，這樣最為理想,。檢測器氣室中充填待測組分濃度的大小，還得根據(jù)檢測器氣室的大小以及被測氣體的情況,，一般都是由實(shí)驗(yàn)來確定,。為了確保薄膜電容器的選擇性充填氣體中的雜質(zhì)越少越好。