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管式高溫爐可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū)、多溫區(qū)）,，可預抽真空（有高真空,、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）,。性能可靠,。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),，具有控溫精度高,，溫沖幅度小，性能可靠,，簡單易操作等特點,。

管式高溫爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,，可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū)、多溫區(qū)）,，可預抽真空（有高真空,、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）,?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高,，溫沖幅度小,，性能可靠，簡單易操作等特點,。

一,、1200℃單溫區(qū)管式爐

型號	爐管尺寸(mm)	加熱區(qū)長度(mm)	恒溫區(qū)長度(mm)	加熱區(qū)外徑(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續(xù)工作溫度(℃)	額定功率(kw)	工作電源(V)
HTF1200-2.5/20	φ25*450	200	100	φ25	1200	1100	1.7	220
HTF1200-5/20	φ50*450	200	100	φ50	1200	1100	1.7	220
HTF1200-6/40	φ60*1000	400	150	φ60	1200	1100	3	220
HTF1200-8/40	φ80*1000	400	150	φ80	1200	1100	3	220
HTF1200-10/40	100*1000	400	150	φ100	1200	1100	3	220
HTF1200-6/90	φ60*1400	900	450	φ60	1200	1100	6	220
HTF1200-8/90	φ80*1400	900	450	φ80	1200	1100	6	220
HTF1200-10/90	100*1400	900	450	φ100	1200	1100	6	220
HTF1200-13/90	130*1400	900	450	φ130	1200	1100	6	220
HTF1200-15/90	150*1400	900	450	φ150	1200	1100	6	220
HTF1200-21/90	210*1400	900	450	φ210	1200	1100	6	220
HTF1200-28/90	280*1400	900	450	φ280	1200	1100	6	220

二、1200℃雙溫區(qū)管式爐

型號	爐管尺寸(mm)	加熱區(qū)長度(mm)	恒溫區(qū)長度(mm)	加熱區(qū)外徑(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續(xù)工作溫度(℃)	額定功率(kw)	工作電源(V)
HTF1200-6/40-II	φ60*1000	400	200	φ60	1200	1100	4	220
HTF1200-8/40-II	φ80*1000	400	200	φ80	1200	1100	4	220
HTF1200-10/40-II	φ100*1000	400	200	φ100	1200	1100	4	220

三,、1200℃三溫區(qū)管式爐

型號	爐管尺寸(mm)	加熱區(qū)長度(mm)	恒溫區(qū)長度(mm)	加熱區(qū)外徑(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續(xù)工作溫度(℃)	額定功率(kw)	工作電源(V)
HTF1200-6/60-III	φ60*1200	600	450	φ60	1200	1100	4	220
HTF1200-8/60-III	φ80*1200	600	450	φ80	1200	1100	4	220
HTF1200-10/60-III	100*1200	600	450	φ100	1200	1100	4	220
HTF1200-6/90-III	φ60*1400	900	600	φ60	1200	1100	9	220
HTF1200-8/90-III	φ80*1400	900	600	φ80	1200	1100	9	220
HTF1200-10/90-III	φ100*1400	900	600	φ100	1200	1100	9	220
HTF1200-13/90-III	φ130*1400	900	600	φ130	1200	1100	9	220
HTF1200-15/90-III	φ150*1400	900	600	φ150	1200	1100	9	220
HTF1200-21/90-III	φ210*1400	900	600	φ210	1200	1100	9	220
HTF1200-28/90-III	φ280*1400	900	600	φ280	1200	1100	9	220

四,、1200℃五溫區(qū)管式爐

型號	爐管尺寸(mm)	加熱區(qū)長度(mm)	恒溫區(qū)長度(mm)	加熱區(qū)外徑(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續(xù)工作溫度(℃)	額定功率(kw)	工作電源(V)
HTF1200-6/90-V	φ60*1400	900	750	φ60	1200	1100	9	220
HTF1200-8/90-V	φ80*1400	900	750	φ80	1200	1100	9	220
HTF1200-10/90-V	φ100*1400	900	750	φ100	1200	1100	9	220
HTF1200-13/90-V	φ130*1400	900	750	φ130	1200	1100	9	220
HTF1200-15/90-V	φ150*1400	900	750	φ150	1200	1100	9	220
HTF1200-21/90-V	φ210*1400	900	750	φ210	1200	1100	9	220
HTF1200-28/90-V	φ280*1400	900	750	φ280	1200	1100	9	220

管式高溫爐本公司可定制各種CVD系統(tǒng),。

上海皓越真空設備有限公司

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