（V2MS17）技術(shù)方案書

一,、                      主要用途

VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐為氣體保護多用途爐,，可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍寶石退火，還原,、燒結(jié)和表面處理等工藝需要,，廣泛應(yīng)用于航空航天,、金屬材料、粉末冶金,、陶瓷產(chǎn)品,、半導體器件,、厚膜電路,、磁性材料等領(lǐng)域。

1.                      用于晶片的還原氣氛下保護燒結(jié),；

2.                      用于一些難熔金屬在還原氣氛保護下燒結(jié),；                                                                

3.                      用于在真空高溫環(huán)境中有蒸發(fā)的材料釬焊；

4.                      用于粉末材料還原燒結(jié)成型,；                                                                            

5.                      可滿足藍寶石退火需要,。

（設(shè)備圖示，以實際出貨產(chǎn)品為準）

二,、                      主要特點

1.                      具備完善的報警功能,，更的安全連鎖保護系統(tǒng)；                                            

2.                      完善的氣氛控制系統(tǒng),，滿足各種工藝需要,；      

3.                      高性能優(yōu)質(zhì)電氣元件保證設(shè)備長期運行的穩(wěn)定可靠性；                                          

4.                      低負荷加熱器,，可有效提高設(shè)備的使用壽命,；

三、                      設(shè)備型號

本設(shè)備為臥式周期式真空氣氛爐,，型號為VHSms-20/20/30-1700（V2MS17）,，其具體代碼含義如下圖所示。

四,、                      主要技術(shù)參數(shù)

1.       額定加熱功率：        9KW(以實際為準)

2.       最高溫度：            1700℃（設(shè)計溫度）

3.       長期工作溫度：        1600℃（驗收溫度）

4.       加熱元件：                        硅鉬棒

5.       控溫精度：                        充氣時±2℃,；穩(wěn)定時±1℃

6.       爐膛尺寸：        200×200×300mm（W×H×D）

7.       冷態(tài)極限真空度：        6.7X10-1Pa（空爐并經(jīng)凈化）

8.       測溫傳感器：                B型熱電偶

9.       冷卻方式：            充氣自然冷卻

10.       保護氣氛：            氮氣或氬氣，一路氣氛

11.       氣氛壓力：                        ≤0.02MPa（微正壓,、表壓）

12.       混氣系統(tǒng)：               1通道浮子流量計供氣系,，浮子流量計（0-10L/min）

13.       控制方式：            手動/自動自由切換

五,、                      設(shè)備采用的標準

設(shè)計和制造采用的主要標準如下：

1.                      GB6654-1996 壓力容器的鋼性選用

2.                      GB10067.1-88 電熱設(shè)備的基本技術(shù)條件

3.                      GB5959.1-88 電熱設(shè)備的安全

4.                      GB10066.1-88 電熱設(shè)備的試驗方法

其它有關(guān)標準參照工業(yè)爐設(shè)計手冊,。

六、                      結(jié)構(gòu)組成

本設(shè)備由爐體,、爐門,、加熱與保溫系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、冷卻系統(tǒng),、氣動系統(tǒng),、溫度及電氣控制系統(tǒng),、安全系統(tǒng)等組成,。

七、                      設(shè)備結(jié)構(gòu)特征

1.                      爐體

爐體為雙層殼體臥式結(jié)構(gòu),，內(nèi)外壁均為304不銹鋼,，并經(jīng)仔細的拋光，表面光滑,，有利于縮短抽氣時間,，且便于清潔。雙層殼體之間通水冷卻,，確保爐壁溫度低于55℃,。爐體及其接管內(nèi)表面拋光后均經(jīng)過嚴格的水壓及氣壓試驗，以確保焊縫質(zhì)量而不發(fā)生滲漏,，真空室經(jīng)過嚴格的真空極限及真空漏率測試,。

爐體側(cè)部設(shè)有真空抽氣口,、熱電偶測溫口、進出水口,、電極口等,。爐體上下壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封。

附屬品：        

1)       真空接管

2)       電極引入接管

3)       熱電偶引入接管

4)       真空測量及真空指示接管

5)       冷卻水接管

6)       爐腿

2.                      爐門

爐門采用雙層水冷結(jié)構(gòu),，內(nèi)外壁均為304不銹鋼經(jīng)精密拋光處理,，內(nèi)外壁之間通水冷卻，爐門側(cè)部設(shè)有進出水口等,。

3.                      加熱與保溫系統(tǒng)

爐襯采用復合爐襯,，內(nèi)側(cè)耐火爐襯選用多孔氧化鋁砌筑，外層選用氧化鋁纖維板及硅酸鋁纖維棉組成復合保溫爐襯,，合理的卡槽式拼裝結(jié)構(gòu),，能有效保證爐膛的牢固性、溫度的損耗,；合理的加熱器對輻射排布及功率的分布都有效的保證溫場的均勻度,，此種結(jié)構(gòu)保溫效果好，爐墻使用壽命長,。

加熱系統(tǒng)由電力控制器,、電極、發(fā)熱體,、熱電偶等組成,。

（1）加熱功率及分布

采用單區(qū)加熱控溫，安裝一支控制熱電偶,，加熱爐的發(fā)熱體采用硅鉬棒,，發(fā)熱元件均勻布置于爐膛兩側(cè)，有效的保證了溫場的均勻性提高加熱系統(tǒng)的可靠性,，安全性,。

（2）測溫裝置

測溫元件采用B型熱電偶配合溫度控制儀進行溫度閉環(huán)控制，測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號,，從而調(diào)整功率調(diào)控器的輸出,，從而控制變壓器的輸出大小，以滿足系統(tǒng)的控溫需求,。此外,，在保溫屏外側(cè)，設(shè)有監(jiān)測熱電偶,，當系統(tǒng)超溫時,，通過控制系統(tǒng)及時切斷加熱電源，確保設(shè)備安全。

4.                      真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)由直聯(lián)泵,、擴散泵,、氣動高真空閥、真空變送器,、真空壓力表,、真空放氣閥、真空管路等組成,，并留有充氣接口,。為減少爐體振動，真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,，真空度由真空變送器測量,。

真空閥門設(shè)掉電保護和安全聯(lián)鎖，如設(shè)備突然斷電,，真空系統(tǒng)的各系統(tǒng)閥門自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài),，保護真空室。

所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造,。管路連接處采用金屬波紋管連接,，以隔絕直聯(lián)泵的震動，防止將震動傳遞至真空加熱室系統(tǒng),。

5.                      氣路系統(tǒng)

氣體系統(tǒng)主要完成運氣,、排氣等動作。氣路控制均采用安全電磁閥,、手動針閥控制，采用電子式數(shù)顯壓力表,，對爐膛壓力能時時監(jiān)控,，當?shù)竭_壓力會自動關(guān)閉進氣管上的電磁閥，并進行報警,，使用安全性更高,。氣體系統(tǒng)增加故障時自動放氣和手動放氣的選擇功能，解決用戶特殊情況下的斷電排氣問題,。

集成式的氣路,、電路控制面板，讓客戶操作更加方便,；所有進氣口全部經(jīng)過短暫預(yù)熱直接進入爐膛使用區(qū)域,，以便保護氣氛能最快、全面的接觸工件（可以通氬氣,、氮氣等惰性氣體）,；爐體后部有二路進氣口，右側(cè)有二路排氣口（排放氣體密度大于空氣密度的保護氣氛氣體,、也可作為緊急時破除真空用接口）,。

本設(shè)備壓力系統(tǒng)由氣源裝置（氣瓶用戶自備）,、閥門站、控制氣路,、超高壓管路等組成,。其作用是根據(jù)工藝要求，向工作缸提供高壓氣體,。

6.                      水冷系統(tǒng)

系統(tǒng)由集成式進水組件（不銹鋼管）,、集成式回水組件（不銹鋼管）、球閥,、優(yōu)質(zhì)橡膠管及接頭等組成,。回水方式采用封閉式,，在關(guān)鍵回路如電極上設(shè)置了水溫水流量傳感器,，水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱。

進水主管路上設(shè)有電接點壓力表,，當水壓不足時提供信號給控制系統(tǒng),，然后由控制系統(tǒng)判斷報警，啟動備用水源系統(tǒng)或切斷電源,。設(shè)備的備用水裝置由客戶自備,，備用水流量≥5m3/h。

水路特點：

1)                      所有水路管道均采用耐高溫,、高壓軟管材質(zhì),，確保不生銹；其他輔助水路管道采用高壓防爆管道,。確保水路安全,；

2)                      關(guān)鍵管路設(shè)置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置，水流量過低報警,，水超溫報警,，及時發(fā)現(xiàn)安全隱患。進水路欠水壓與加熱PLC互鎖,，水壓低時,，報警并停止加熱。

3)                      使用方須做好備用水源及UPS電源,。主電路停電可立即切換至UPS電源,，給水泵供電，冷卻水源循環(huán),，確保爐體安全。

7.                      氣動系統(tǒng)（需選配空壓機）

由氣動三聯(lián)件（除水器、壓力表,、油霧器）,、電磁換向閥，管道和產(chǎn)氣量為0.6m3/min的空壓機（可選配）等組成,?？蓪鈩訄?zhí)行元件（如氣缸,、充氣閥,、真空閥門等）提供潔凈的壓縮空氣，確保氣動原件運行穩(wěn)定可靠,，管路走向整潔美觀,。

8.                      溫度及電氣控制系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng)：全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),，可以手動、自動切換,。

電源控制系統(tǒng)軟件介紹： 有以下特點：

1)       源控制具有手動和自動兩種控制方式,，手動和自動都可以在觸摸屏上控制,，操作方便,、系統(tǒng)穩(wěn)定，具有誤操作提示報警功能,。

2)       溫控系統(tǒng)：全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),，可以手動、自動切換,，采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度,，觸摸電腦自動記錄燒結(jié)過程及歷史曲線,。配備 PLC 控制器（西門子/歐姆龍）,，具有 PID 及超溫報警功能，能儲存和輸出記錄,，清晰反應(yīng)爐子工作狀況,。

3)       控制系統(tǒng)軟件由我公司自行開發(fā)，人機界面操作系統(tǒng),，畫面友好,，操作簡單，響應(yīng)速度快，可對爐內(nèi)工況進行實時監(jiān)測,，系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,。

4)       本設(shè)備可自動采集溫度曲線、真空度曲線和燒結(jié)時間等曲線,，對各個工藝參數(shù)（溫度,、真空度）實現(xiàn)動態(tài)顯示，方便用戶根據(jù)歷史曲線分析燒結(jié)工藝,。

5)       通訊接口豐富,，如 RS485、LAN,、USB 等,，易于和其它設(shè)備 組網(wǎng)應(yīng)用。軟件控制界面形象化,，能夠動態(tài)顯示工作流程,，方便直觀。

6)       控制系統(tǒng)上設(shè)有過流,、超溫及斷水等分類報警功能,，電器元件采用施耐德、 LG等品牌,，產(chǎn)品品質(zhì)有保證,。電控柜按照西門子標準制作，所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內(nèi),。

7)       軟件免費升級,。

溫度的控制也可通過數(shù)顯溫度程序控制儀根據(jù)用戶設(shè)定的工藝曲線，實行自動控制溫度,，并具有PID自整定功能,，也可根據(jù)用戶需要手動控制溫度。

八,、                      安全保護系統(tǒng)

1.                      電氣聯(lián)鎖保護系統(tǒng),；

2.                      保險絲；

3.                      電熱過電流保護裝置,。

九,、                      整機要求

1.                      電力需求：     220V/380V，三相五線制,，12KVA,，50Hz

2.                      起重設(shè)備：     ＞1.2噸

3.                      壓縮空氣氣源：

1)                      耗量：     ~3L/s

2)                      壓力：     ≥0.6Mpa

4.                      水源：

1)                      耗量：      ＞10m3/h

2)                      水壓：      0.15~0.3Mpa

3)                      進水水溫： ≤25℃

4)                      水質(zhì)：      PH值7.0～8.5，懸浮物固體＜100mg/L,，總硬度CaO＜10mg當量/L,，溶解性固體＜30mg/L,，電導率＜500μS/cm；及總排水管與設(shè)備的連接管路和閥門,；

十,、                      安裝、調(diào)試及驗收

1.                      甲方負責地基,、氣源,、乙方電控柜的總線輸入端之前的進線電纜。在所有準備工作完成后,，通知乙方進行安裝,、調(diào)試。設(shè)備以賣方組織,，買方配合的方式在買方現(xiàn)場安裝,、調(diào)試并達到買方正常使用的要求；

2.                      驗收工作完成后,，由雙方共同簽署設(shè)備最終驗收報告,。

十一、                      培訓

1.                      設(shè)備安裝調(diào)試過程中,，賣方同時對買方設(shè)備使用人員進行必要的操作和維護保養(yǎng)的培訓,。經(jīng)培訓，用戶技術(shù)人員能夠達到獨立正確操作設(shè)備并能判斷故障及簡單維修,。

2.                      培訓計劃和內(nèi)容：

十二,、                      保固期

機器全系統(tǒng)保固壹年。

十三,、                      售后

保固期內(nèi),，若設(shè)備發(fā)生故障（易損件除外），我公司在2小時內(nèi)給予回復,，并在72小時內(nèi)派員到達現(xiàn)場,，組織維修。

長期優(yōu)惠提供備品備件,。

十四,、                      隨機資料

1.                      操作說明書。

2.                      出廠檢驗報告,。

3.                      安裝調(diào)試必需的圖紙,。

十五、                      客戶選配配件

1.                      冷水機HCA-10      1臺

2.                      水路管道及法蘭：   1套

3.                      空壓機HA-1        1臺

4.                      分子泵組/DM或/OD：1臺

真空爐