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VHDBmo-20/20/30-1400型真空擴散焊爐是在真空（或其它氣氛）條件下將材料內(nèi)原子擴散焊成型的成套設(shè)備,，主要采用鉬帶電阻加熱,，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體,。

VHDBmo-20/20/30-1400型真空擴散焊爐

（P2MO14）技術(shù)方案

VHDBmo-20/20/30-1400型真空擴散焊爐是在真空（或其它氣氛）條件下將材料內(nèi)原子擴散焊成型的成套設(shè)備,，主要采用鉬帶電阻加熱，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體,。

（設(shè)備圖示,，以實際出貨產(chǎn)品為準）

2. 設(shè)備用途

該設(shè)備將真空/氣氛,、熱壓成型,、高溫?zé)Y(jié)結(jié)合在一起，適用于氧化鈮,、碳化硅,、碳化硼、氮化硼等陶瓷材料等石墨烯碳纖維,、高溫合金金屬粉體材料的高溫加壓燒結(jié)成形及增密粉末冶金,、功能陶瓷等新材料的高溫?zé)岢尚停部捎糜诜勰┗驂号髟诘陀谥饕M分熔點的溫度下的熱處理,，目的在于通過顆粒間的冶金結(jié)合以提高其強度,。

皓越科技該設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，設(shè)計及制造符合相應(yīng)的國家及行業(yè)標(biāo)準和規(guī)范,，能夠滿足用戶的使用要求,。設(shè)備的節(jié)能效果好,。使用,、操作、維修方便簡捷,，造型美觀,，安全可靠,，售后服務(wù)優(yōu)良。配套產(chǎn)品和元器件具有國際水平,，能夠適應(yīng)長期,、穩(wěn)定、安全、可靠的生產(chǎn)需求,。

3. 設(shè)備特點

1) 采用臥式,、側(cè)開門結(jié)構(gòu)：裝、卸模具精度高,，操作方便,；

2) 升溫快：升溫速率10℃/分鐘（≤1600℃）；

3) 溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±3℃（5點測溫,，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測）,；

4) 壓力精度高：采用伺服電動缸控制系統(tǒng)，壓力精度為±1‰,；

5) 采用單溫區(qū)控制：預(yù)留兩個測溫孔,，以便高溫監(jiān)測使用；

6) 安全性能好：采用HMI+PLC+PID壓力傳感控制,，安全可靠,；

7) 密封性能好：動態(tài)壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣,。

二,、設(shè)備型號

本設(shè)備為臥式周期式真空擴散焊爐，具體型號為VHDBmo-20/20/30-1400（P2MO14）,，具體代碼含義如下圖所示：

三,、主要技術(shù)參數(shù)

1. 設(shè)備形式：臥式

2. 裝料方式：側(cè)裝料

3. 加熱形式：鉬帶電阻加熱

4. 加熱功率： 50±10%KW(以實際功率為準)

5. 工件外形（mm）：≤120x120mm（寬x長）

6. 最高溫度： 1400℃（設(shè)計溫度）

7. 工作溫度： 1300℃（此溫度為驗收標(biāo)準）

8. 溫度均勻性： ±3℃（5點測溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測）

9. 升溫速率： 1～10℃/min

常溫~1300℃,，升溫速率為10℃/min,；

10. 控溫精度： ±1℃

11. 極限真空度： 6.7x10-3Pa（空爐、冷態(tài),、經(jīng)凈化）

12. 真空抽速：從大氣壓力抽至5 Pa≤20min

13. 壓升率： ≤2Pa/h（空爐,、冷態(tài)、經(jīng)凈化）

14. 最大壓力： 5T（數(shù)顯,，可調(diào)）（使用伺服電動缸）

15. 加壓方式：手/自動加壓,，單向上加壓（由上往下加壓）

16. 壓頭行程： 100mm

17. 壓頭開放高度： 160mm

18. 上下壓頭平行度：±0.1mm

19. 壓力控制精度： ≤±1‰FS(FS 是全量程壓力)

20. 位移顯示精度： 0.005mm

21. 壓頭密封：上壓頭采用波紋管密封

22. 壓頭材質(zhì) TZM合金

23. 測溫儀器：鎢錸型熱電偶

24. 保護氣氛：氬氣或高純氮氣一路氣氛

25. 氣氛壓力： ≤0.1MPa·A（絕對壓力，可調(diào)）

26. 設(shè)備外形尺寸： 1560mm（W）X1690mm（D）X2000mm（H）（以實際發(fā)貨產(chǎn)品為準）

27. 設(shè)備重量：約1.6t

四,、結(jié)構(gòu)組成

皓越科技該臥式真空擴散焊爐主要由爐體,、爐門、加熱與保溫及測溫系統(tǒng),、測溫系統(tǒng),、加壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、水冷系統(tǒng),、氣動裝置,、電氣控制系統(tǒng)等組成。

五,、設(shè)備結(jié)構(gòu)特征

1. 爐體

爐體為雙層殼體臥式結(jié)構(gòu),，內(nèi)外壁均為304不銹鋼，并經(jīng)仔細的拋光,，表面光滑,，有利于縮短抽氣時間，且便于清潔,。雙層殼體之間通水冷卻,，確保爐壁溫度低于55℃。爐體及其接管內(nèi)表面拋光后均經(jīng)過嚴格的水壓及氣壓試驗,，以確保焊縫質(zhì)量而不發(fā)生滲漏,，真空室經(jīng)過嚴格的真空極限及真空漏率測試。

爐體側(cè)部設(shè)有真空抽氣口,、熱電偶測溫口,、進出水口、電極口等,。爐體上下壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封,。

附屬品：

1) 真空接管

2) 電極引入接管

3) 熱電偶引入接管

4) 真空測量及真空指示接管

5) 冷卻水接管

6) 爐腿

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2. 爐門

爐門采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，內(nèi)外壁均為304不銹鋼經(jīng)精密拋光處理,，內(nèi)外壁之間通水冷卻,，爐門側(cè)部設(shè)有進出水口等,。

3. 加熱保溫系統(tǒng)

加熱系統(tǒng)采用鉬帶電阻帶加熱體,，四周分布保證了最佳的溫度均勻性和工件的均勻受熱，且便于發(fā)熱體的維修及更換,。四周的隔熱屏采用鉬屏,、不銹鋼屏、不銹鋼支架組成的保溫層,，經(jīng)過加工制作成一個整體的隔熱系統(tǒng),，能方便的進行安裝及維護。

加熱電極為專門設(shè)計的紫銅水冷電極,，水冷電極設(shè)計不但保證與爐體的良好密封和絕緣,，而且與引入電源連接線的接觸良好，拆卸方便,，電極中水冷卻裝置能夠降低導(dǎo)電接頭的溫度,，防止燒毀真空密封材料，以致影響爐內(nèi)真空度,。新型的電極結(jié)構(gòu)避免了長時間使用發(fā)生銅管腐蝕及焊口腐蝕而漏水的現(xiàn)象,。

絕緣件采用優(yōu)質(zhì)陶瓷結(jié)構(gòu)，電極引出結(jié)構(gòu)為紫銅水冷電極，絕緣結(jié)構(gòu)為氧化鋁陶瓷（能夠避免熱處理過程中材料揮發(fā)造成短路而燒毀電極）,。加熱室外框使用不銹鋼板材料,，并且焊接多道加強筋以保證長期使用不變形。

4. 測溫系統(tǒng)

測溫元件采用鎢錸熱電偶配合溫度控制儀進行溫度閉環(huán)控制,，測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號,，從而調(diào)整功率調(diào)控器的輸出，從而控制變壓器的輸出大小,，以滿足系統(tǒng)的控溫需求,。此外，在保溫屏外側(cè),，設(shè)有監(jiān)測熱電偶,，當(dāng)系統(tǒng)超溫時，通過控制系統(tǒng)及時切斷加熱電源,，確保設(shè)備安全,。

5. 加壓系統(tǒng)

加壓系統(tǒng)為伺服電動缸，電動缸單向上加壓,，加壓壓力為最大5T（可調(diào)）,，加壓行程為50mm。

壓機由四立柱及上下橫梁組成,，單向上加壓,，加壓電動缸固定在橫梁上，爐體支撐在爐架上,，并與下橫梁進行固定,，橫梁經(jīng)過嚴格機械加工，保證上壓頭的加壓精度,。壓頭的密封采用焊接波紋管密封,，密封可靠、使用壽命長,。壓頭位移由位移傳感器測得,，采用光柵尺測距，測量誤差±0.005mm,。

上水冷壓頭全部采用特殊水冷結(jié)構(gòu)形式,，材料為不銹鋼，具有水冷效果好,，反復(fù)加壓工作不變形,、使用壽命長、移動過程泄漏小等優(yōu)點,。

上,、下壓頭均采用TZM合金制造,，抗壓強度高，不易損壞,。

加壓系統(tǒng)由伺服電動缸,、加壓位移傳感器等組成，并由電磁閥通過控制系統(tǒng)進行控制,?？赏ㄟ^手動調(diào)節(jié)加壓壓力，也可自動調(diào)節(jié)加壓壓力,，進而實現(xiàn)穩(wěn)壓,、保壓。

6. 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)由直聯(lián)泵,、擴散泵,、氣動高真空閥、真空變送器,、真空壓力表,、真空放氣閥、冷阱,、真空管路等組成,，并留有充氣接口。為減少爐體振動,，真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,，真空度由真空變送器測量。

真空閥門設(shè)掉電保護和安全聯(lián)鎖,，如設(shè)備突然斷電,，真空系統(tǒng)的各系統(tǒng)閥門自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)，保護真空室,。

所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造,。管路連接處采用金屬波紋管連接，以隔絕直聯(lián)泵的震動,，防止將震動傳遞至真空加熱室系統(tǒng)。

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7. 充氣裝置

充氣系統(tǒng)（不含氣體干燥,、氣體過濾）主要由充氣閥,、浮子流量計、壓力傳感器,、充氣管道等組成,，用于工藝所需充氬氣、氮氣的一路氣氛要求,，最大充氣壓力≤0.1MPa·A（絕對壓力）,。

氣體壓力檢測采用壓力傳感器,，和電磁閥配合可自動控制爐內(nèi)壓力在設(shè)定范圍內(nèi)，差壓自動補氣,，超壓自動放氣,；超限壓報警并自動停止加熱及停止進氣，自動打開排氣,。

1) 進氣管道采用一路浮子流量計控制,；

2) 所有氣路管道均采用SUS304材質(zhì)；

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8. 水冷系統(tǒng)

系統(tǒng)由集成式進水組件（不銹鋼管）,、集成式回水組件（不銹鋼管）,、球閥、優(yōu)質(zhì)橡膠管及接頭等組成,?；厮绞讲捎梅忾]式，在關(guān)鍵回路如電極上設(shè)置了水溫水流量傳感器,，水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱,。

進水主管路上設(shè)有電接點壓力表，當(dāng)水壓不足時提供信號給控制系統(tǒng),，然后由控制系統(tǒng)判斷報警,，啟動備用水源系統(tǒng)或切斷電源。設(shè)備的備用水裝置由客戶自備,，備用水流量≥5m3/h,。

水路特點：

1) 所有水路管道均采用耐高溫、高壓軟管材質(zhì),，確保不生銹,；其他輔助水路管道采用高壓防爆管道。確保水路安全,；

2) 關(guān)鍵管路設(shè)置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置,，水流量過低報警，水超溫報警,，及時發(fā)現(xiàn)安全隱患,。進水路欠水壓與加熱PLC互鎖，水壓低時,，報警并停止加熱,。

3) 使用方須做好備用水源及UPS電源。主電路停電可立即切換至UPS電源,，給水泵供電,，冷卻水源循環(huán)，確保爐體安全,。

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9. 氣動系統(tǒng)（需選配空壓機）

由氣動三聯(lián)件（除水器,、壓力表,、油霧器）、電磁換向閥,，管道和產(chǎn)氣量為0.6m3/min的空壓機（可選配）等組成,。可對氣動執(zhí)行元件（如氣缸,、充氣閥,、真空閥門等）提供潔凈的壓縮空氣，確保氣動原件運行穩(wěn)定可靠,，管路走向整潔美觀,。

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10. 變壓器及連接電纜

采用與之相匹配的變壓器及連接水冷電纜或銅排。

11. 電氣控制系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng)：全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),，可以手動,、自動切換。

電源控制系統(tǒng)軟件介紹：有以下特點：

1) 源控制具有手動和自動兩種控制方式,，手動和自動都可以在觸摸屏上控制,，操作方便、系統(tǒng)穩(wěn)定,，具有誤操作提示報警功能,。

2) 溫控系統(tǒng)：全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng)，可以手動,、自動切換,，采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度，觸摸電腦自動記錄燒結(jié)過程及歷史曲線,。配備 PLC 控制器（西門子/歐姆龍）,，具有 PID 及超溫報警功能，能儲存和輸出記錄,，清晰反應(yīng)爐子工作狀況,。

3) 控制系統(tǒng)軟件由我公司自行開發(fā)，人機界面操作系統(tǒng),，畫面友好,，操作簡單，響應(yīng)速度快,，可對爐內(nèi)工況進行實時監(jiān)測,，系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。

4) 本設(shè)備可自動采集溫度曲線,、真空度曲線和燒結(jié)時間等曲線，對各個工藝參數(shù)（溫度,、真空度）實現(xiàn)動態(tài)顯示,，方便用戶根據(jù)歷史曲線分析燒結(jié)工藝,。

5) 通訊接口豐富，如 RS485,、LAN,、USB 等，易于和其它設(shè)備組網(wǎng)應(yīng)用,。軟件控制界面形象化,，能夠動態(tài)顯示工作流程，方便直觀,。

6) 控制系統(tǒng)上設(shè)有過流,、超溫及斷水等分類報警功能，電器元件采用施耐德,、 LG等品牌,，產(chǎn)品品質(zhì)有保證。電控柜按照西門子標(biāo)準制作,，所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內(nèi),。

7) 軟件免費升級。

溫度的控制也可通過數(shù)顯溫度程序控制儀根據(jù)用戶設(shè)定的工藝曲線,，實行自動控制溫度,，并具有PID自整定功能，也可根據(jù)用戶需要手動控制溫度,。

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六,、安全保護系統(tǒng)

1. 電氣聯(lián)鎖保護系統(tǒng)；

2. 保險絲,；

3. 電熱過電流保護裝置,。

七、整機要求

1. 電力需求： 380V,，三相五線制,，60KVA，50Hz

2. 起重設(shè)備：＞2噸

3. 壓縮空氣氣源：

1) 耗量： ~3L/s

2) 壓力： ≥0.6Mpa

4. 水源：

1) 循環(huán)水量： ≥6m3/h

2) 水壓： 0.2~0.3Mpa

3) 進水水溫： ≤25℃

4) 水質(zhì)： PH值7.0～8.5,，懸浮物固體＜100mg/L,，總硬度CaO＜10mg當(dāng)量/L，溶解性固體＜30mg/L,，電導(dǎo)率＜500μS/cm,；及總排水管與設(shè)備的連接管路和閥門；

八,、安裝,、調(diào)試及驗收

1. 甲方負責(zé)地基、氣源,，乙方電控柜的總線輸入端之前的進線電纜,。進回水接到乙方冷卻水箱的總進回水口處,。在所有準備工作完成后，通知乙方進行安裝,、調(diào)試,。設(shè)備以賣方組織，買方配合的方式在買方現(xiàn)場安裝,、調(diào)試并達到買方正常使用的要求,；

2. 驗收工作完成后，由雙方共同簽署設(shè)備最終驗收報告,。

九,、培訓(xùn)

1. 設(shè)備安裝調(diào)試過程中，賣方同時對買方設(shè)備使用人員進行必要的操作和維護保養(yǎng)的培訓(xùn),。經(jīng)培訓(xùn),，用戶技術(shù)人員能夠達到獨立正確操作設(shè)備并能判斷故障及簡單維修。

2. 培訓(xùn)計劃和內(nèi)容：

序號	培訓(xùn)計劃	培訓(xùn)時間（天）	培訓(xùn)人員	地點
1	操作培訓(xùn)	2	工程師1人	驗收現(xiàn)場
2	維護保養(yǎng)培訓(xùn)			驗收現(xiàn)場
3	故障判斷及簡單維修培訓(xùn)			驗收現(xiàn)場

十,、保固期

機器全系統(tǒng)保固壹年（易損件模具,、石墨壓頭、石墨加熱體,、熱電偶,、密封件除外）。長期優(yōu)惠提供備品備件,。

十一,、售后

保固期內(nèi)，若設(shè)備發(fā)生故障,，我公司在2小時內(nèi)給予回復(fù),，并在72小時內(nèi)派員到達現(xiàn)場，組織維修,。

十二,、設(shè)備到達現(xiàn)場條件

1. 提供設(shè)備尺寸圖，含包裝尺寸圖,；

2. 提供設(shè)備布局圖,，含真空機組及電控柜布局圖；

3. 提供水,，電,，氣要求及備用水要求。

十三,、客戶可選配配件

1. 冷水機HCA-10 1臺

2. 水路管道及法蘭： 1套

3. 空壓機HA-1 1臺

4. 分子泵組/DM或/OD：1臺

真空熱壓燒結(jié)爐

編號	產(chǎn)品型號	加熱元件	樣品尺寸 (mm)	壓力 (噸)	加熱功率(kw)	真空度(Pa)	最高溫度(℃)	適用工藝	外形尺寸（mm)
P2GR20	VHPgr-20/20/30-2000	石墨電阻	Φ20~80	30	45	6.7X10-3	2000	熱壓/燒結(jié)	1560×1690×1850
P2GR23	VHPgr-20/20/30-2300	石墨電阻	Φ20~80	30	50	6.7X10-3	2300	熱壓/燒結(jié)	1560×1690×1850
P2CO20	VHPco-20/20-2000	感應(yīng)線圈	Φ20~80	30	45	6.7X10-3	2000	熱壓/燒結(jié)	1560×1690×1850 不含電源尺寸
P2CO23	VHPco-20/20-2300	感應(yīng)線圈	Φ20~80	30	50	6.7X10-3	2300	熱壓/燒結(jié)	1560×1690×1850 不含電源尺寸
P2MO14	VHPmo-20/20/30-1400	鉬帶電阻	L160×W160×H160	5	45	6.7X10-3	1400	擴散焊/燒結(jié)/脫氣	1560×1690×1850

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