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真空高溫管式爐廠家，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū)、多溫區(qū)）,，可預(yù)抽真空（有高真空,、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）,。性能可靠,。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),，具有控溫精度高,，溫沖幅度小,，性能可靠,，簡單易操作等特點(diǎn)。CVD真空管式爐

真空管式爐,，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū)、三溫區(qū),、多溫區(qū)）,，可預(yù)抽真空（有高真空、低真空）,，通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）,。性能可靠,。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),，具有控溫精度高,，溫沖幅度小，性能可靠,，簡單易操作等特點(diǎn),。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜,、陶瓷基片導(dǎo)電率測試,、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn),。CVD真空管式爐CVD真空管式爐CVD真空管式爐
真空高溫管式爐廠家參數(shù)：

一,、真空系統(tǒng)

產(chǎn)品型號	真空度（Pa）	外形尺寸（mm）寬×高×長	真空配置	重量（kg）
HTF-101	6.7×10-1	430×460×590	直聯(lián)泵
HTF-103	6.7×10-3	430×550×650	直聯(lián)泵+分子泵
HTF-104	6.7×10-4	460×590×690	直聯(lián)泵+分子泵

二、供氣系統(tǒng)

產(chǎn)品型號	通道數(shù)量	外形尺寸（mm）寬×高×長	流量計(jì)種類	重量（kg）
HTF-2F	2	230×260×390	浮子流量計(jì)
HTF-3F	3	290×490×450	浮子流量計(jì)
HTF-4F	4	290×490×450	浮子流量計(jì)

三,、射頻電源

產(chǎn)品型號	功率	外形尺寸（mm）寬×高×長	配置	重量（kg）
HTF-RF1	5 -300W可調(diào)	330×410×260	輸出功率: 5 -300W,射頻電源頻率: 13.56 MHz,zui大反向功率: 200W
HTF-RF2	5 -500W可調(diào)	350×420×280	輸出功率: 5 -500W,射頻電源頻率：13.56 MH ,zui大反向功率: 200W

本公司可定制各種CVD系統(tǒng),。

上海皓越真空設(shè)備有限公司

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