當前位置：上海皓越真空設備有限公司> 供求商機> VHS-1700℃真空管式氣氛爐
這款CVD系統(tǒng)集真空管式氣氛爐,，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,，可根據(jù)用戶需要設計生產（有雙溫區(qū),、三溫區(qū)、多溫區(qū)）,，可預抽真空（有高真空,、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質子流量器和浮子流量控制器）,。性能可靠,。控制電路選用模糊PID程控技術,，具有控溫精度高,，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點,。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試,、ZnO納米結構的可控生長,、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
高真空管式爐 | 爐管尺寸 | 外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm |
極限溫度 | 1700 ℃ | |
工作溫度 | 900 -1600 ℃ | |
溫度控制器 | PID自動控制 晶閘管（可控硅）輸出功率,， 50段可編程控制器 | |
zui快升降溫速率 | 1400℃以下≤10℃/min,，1400℃到1600℃≤5℃/min | |
加熱區(qū) | 360mm | |
恒溫區(qū) | 200mm | |
溫度精度 | ±1 ℃ | |
電源： | 單相220V,交流50Hz | |
多通道流量計控制系統(tǒng) | 標準量程 | 100，200 ,，500,，1000SCCM； （以氮氣標定,，除以上標準外量程可選） |
準確度 | ±1.5% | |
工作壓差范圍 | 0.01～0.05 MPa | |
zui大壓力 | 0.02MPa | |
接頭類型 | Φ6雙卡套不銹鋼接頭 | |
高真空系統(tǒng) | 泵體積流量N2 | 33 L/S |
壓縮比 | 10:11 | |
實驗真空值 | 10-3Pa | |
功率消耗 | 140W | |
啟動時間： | 2min | |
電源要求： | 185-265VAC |
本公司可定制各種CVD系統(tǒng),。
：139 1789 8272 ，138 1685 2761,，歡迎客戶,。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險,，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
