1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。 如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),。 每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。
3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵,。 由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來,，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來,，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度,。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預(yù)真空,；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵,，故都需要把泵組合起來使用,。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,?！ ∪粼O(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求。
6,、了解被抽氣體成分,。 氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆?；覊m,，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),，需要知道氣體成分,，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器,、除塵器等。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響,。 如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外。
8,、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響,。 若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。
9、真空泵的價(jià)格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。在使用許可的情況之下,應(yīng)盡量選用價(jià)廉物美的真空泵,。
上海金鵬分析儀器有限公司
： 61425398 36162366
:,，， 842727501,， 2460311703,， 2431022418，170324176
地址：上海市真陳路1398弄15號(hào) ：200444
會(huì)員.png)
17
立即詢價(jià)
您提交后,，專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)