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新型薄膜真空計介紹
薄膜真空計是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，
其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,，即產(chǎn)生了電容的變化,，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,，組成為輸出信號，所以,，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān),，即：薄膜真空計是一種直接測量式的,、全壓型的真空計。
而我們常用的真空計往往是電阻計,、熱偶計居多,，是一種間接測量的真空計，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測量方法,，簡單一點來說,，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻,、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度,、測量穩(wěn)定度是很不好的,。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數(shù)量級（誤差大于30%）,，尤其是在粗低真空段，誤差甚至大到令人無法置信,。但是由于它制造容易,、價格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,。許多人抱怨花了3,、4千元買到進口的真空傳感器也誤差很大，就是因為老外的這個價位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機理的真空傳感器,。
現(xiàn)在真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,，真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度,、穩(wěn)定性要求,、以及自動控制性能要求也越來越高，因為這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量,，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,，甚至于成功與否。在精細化工,、真空冶煉,、真空熱處理、真空浸漬,、真空冷凍干燥,、真空絕緣處理、電真空器件,、半導(dǎo)體材料生產(chǎn),、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出,。
許多新設(shè)備,、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)無法得到預(yù)想的技術(shù)指標(biāo),，很可能就是真空測控儀表選型不當(dāng)、測量控制精度無法達到要求所致,。
當(dāng)然,，薄膜真空計也不是*的，首先是價格高,，國內(nèi)一般是4-6千元,，量限低的貴些；進口則1.6—2.5萬元/只左右,；其次,，國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂,，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正,。主要是技術(shù)陳舊,，國內(nèi)材料科學(xué)相對落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好,；還有一個量程跨度小,，國內(nèi)的不超過3個數(shù)量級。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣,，容易壞,，有油污進去很難清洗，要用丙酮,，清洗挽救1\3往往會報廢,，小量程的2\3會壞。
所以,，我們需要有一種具有國產(chǎn)價格,、進口品質(zhì)的薄膜真空計。
國外的薄膜真空計與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的相比有什么不同呢,？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù),、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過大規(guī)模厚膜電路,，將薄膜電容測量機構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化,，做在陶瓷基片上，另外,，將智能儀表電路微型化,，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬,、精度高,、體積小,；
現(xiàn)在,，國內(nèi)學(xué)習(xí)和引進*技術(shù)，根據(jù)我們真空設(shè)備配套測控儀表的特點,，研制出的陶瓷薄膜真空計,，其測量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進口產(chǎn)品相媲美了。
當(dāng)然,，真正要做好高精度的薄膜真空計zui重要的,、也是zui為關(guān)鍵的一步是：計量校準(zhǔn)和規(guī)范的量值傳遞；
經(jīng)過多年的艱苦奮斗,，我國已經(jīng)建立了*的,、科學(xué)的,、系統(tǒng)的計量體系（CNAS）;真空度計量屬于壓力計量；要保證產(chǎn)品的高精度,，還必須嚴格遵循CNAS的規(guī)范要求,、建立相應(yīng)的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、適時量值傳遞檢定等等工作,，這方面國內(nèi)企業(yè)往往容易忽略,。。,。,。。,。
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