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選擇標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)原則有哪些,？
閱讀：1109 發(fā)布時間：2021-3-16
壓力測量中,，除極少數(shù)直接測量外,，絕大多數(shù)是間接測量,。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,，進(jìn)而設(shè)法確定壓力值,。這是真空測量的特點(diǎn)，亦會造成某些問題,。
任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,，都是在某一壓力范圍內(nèi)，超出這個范圍,，關(guān)系變得弱了,。因此,，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)的“量程”,。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個數(shù)級(105～10-14pa),，沒有任何一種標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)能測量如此寬的壓力范圍,，因此總是用幾種標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,，往往要造成較大的誤差,。
在被測空間引起一定物理現(xiàn)象，還會出現(xiàn)這樣的問題,，即從測量的角度出發(fā),，本需要一種單純的物理現(xiàn)象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象,，這些寄生現(xiàn)象不但給測量量帶來誤差,，有時還會“喧賓奪主”，*把主要現(xiàn)象掩蓋住了,。
由上觀之,，為改善標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)性能及提高真空測量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象,，抑制寄生現(xiàn)象,。
真空測量特點(diǎn)
1、測量壓力范圍寬,，105～lO-14Pa,。
2、大部分標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)是間接測量,，只有壓力為105～lOPa時,，可直接測單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測量的壓力遠(yuǎn)比上述為小,，不能直接測量,，應(yīng)利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、粘滯性和電離等)進(jìn)行間接測量,。
3,、多采用非電量電測技術(shù)。
4,、大部分標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān),。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會造成很大誤差。
5,、測量精度不高,。
選擇標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)原則
1,、在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。
2,、被測氣體是否會損傷標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì);標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響,。
3、能測全壓力嗎?可校準(zhǔn)嗎?靈敏度與氣體種類有關(guān)否,。
4,、可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時間長短,。
5,、穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性,、可靠性和壽命如何,。
6,、要看標(biāo)準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)的安裝方法,、操作性能、保修,、管理,、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何,。