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隔膜真空計(jì)都有哪些應(yīng)用,？
閱讀：1152 發(fā)布時(shí)間：2021-1-15
隔膜真空計(jì)是一種高精度真空測量儀器,，專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計(jì),。經(jīng)過驗(yàn)證的溫控,，耐腐蝕,，超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性，并具有*的零穩(wěn)定性,。附帶*傳感器屏蔽,，可保護(hù)儀表免受不良過程副產(chǎn)品的影響。*的電子元件為所有應(yīng)用和可選的現(xiàn)場總線接口提供廣泛的可配置信號(hào)調(diào)理,。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽,，節(jié)省了寶貴的工具空間。是同類產(chǎn)品中小的真空測量儀器,。
隔膜真空計(jì)特點(diǎn)：
緊湊,，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成,，各種滿量程和法蘭，標(biāo)準(zhǔn)有兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵式或遠(yuǎn)程信號(hào)零點(diǎn)命令,，零點(diǎn)偏移可調(diào)
診斷端口,，用于快速維護(hù)和維護(hù)
兩年保修，更長的使用壽命,，*的加熱概念和儀表保護(hù)
即使在惡劣的等離子應(yīng)用中,，由于出色的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，也無需長期重新校準(zhǔn)
合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE,，EN,，UL，SEMI,，RoHS
典型應(yīng)用
CVD,，蝕刻，PVD和其他半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝
隔膜真空計(jì)是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強(qiáng)的真空計(jì),，其基本原理所示,。電容式隔膜真空計(jì)內(nèi)部有兩個(gè)空間，隔膜右側(cè)連接真空,，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度,。如果p2 <p1，則隔膜就向右側(cè)變形;反之,，就向左側(cè)變形,。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài)，兩者之間的距p1 和p2之間的壓強(qiáng)差很小時(shí),，隔膜的變形也很小,，要測量真空度，需要隔膜更薄,?？墒牵绻麅蓚?cè)壓強(qiáng)差很大,，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損,。通常情況下，為了防止隔膜過度變形,，在電極和隔膜之間施加直流電壓,，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值,，即可知壓強(qiáng),，這種真空計(jì)被稱為單電容隔膜真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動(dòng)式雙電容隔膜真空計(jì),，進(jìn)一步提高了測量精度和范圍,。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金,。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品,。電容式隔膜真空計(jì)測量的真空度與氣體成分無關(guān),，反應(yīng)快、重復(fù)性高,，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量,。離隨p2 的變化而改變，從而引起其間的電容變化,。反過來,，通過測量隔膜和電極之間的電容，就可知隔膜的變形量,，繼而推算出壓強(qiáng),。