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電容薄膜真空計校準要注意的5個小細節(jié)
閱讀：2471 發(fā)布時間：2020-11-3
電容薄膜真空計包含真空規(guī)管和測量電路兩個部分。其中,，真空規(guī)管將真空度轉(zhuǎn)化成電容量,，測量電路對電容量進行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規(guī)管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法,，其電容變化量為幾飛法甚至更小,。電容薄膜真空規(guī)管的敏感電容具有不同結(jié)構(gòu)，包括單側(cè)電極結(jié)構(gòu),、雙側(cè)電極結(jié)構(gòu)以及靜電力平衡結(jié)構(gòu)，不同結(jié)構(gòu)的敏感電容其電容變化量不同,。
校準電容薄膜計時,應(yīng)注意以下五點:
(1)傳感器調(diào)零時,首先應(yīng)用標準信號將控制線路的零點和滿度調(diào)好,將溫度補償器調(diào)到所需要的位置上,測量中不可隨意變動,。
(2)傳感器調(diào)零應(yīng)在其預(yù)熱4小時后進行,必要時可(10～24)小時的恒溫加熱,才能使電容規(guī)達到較佳零點,也才能測得更準確。
(3)傳感器調(diào)零的位置,應(yīng)比校準范圍下限低2～3個量級,。如量程是1000Torr,則校準范圍是133.3Pa～133300Pa,。零點在真空系統(tǒng)抽到1.3Pa或0.13Pa位置左右時才能調(diào)節(jié),其余量程以此類推。
(4)調(diào)零以后,校準過程中環(huán)境溫度不能有驟然變化的現(xiàn)象發(fā)生,。
(5)在校準過程中,避免傳感器過大的振動,。