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PBS-510D型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） PBS-510C型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） PBS-510B型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） VR-208C-510D高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510C型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510B型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510A型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì)
談?wù)勲娙荼∧ふ婵沼?jì)
閱讀：2133 發(fā)布時(shí)間：2020-5-9
電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓,、全壓測(cè)量的真空計(jì)，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,，即產(chǎn)生了電容的變化,，再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào),，所以,，它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān),，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的,、全壓型的真空計(jì)。
而我們的真空設(shè)備的真空度測(cè)量控制常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì),、熱偶計(jì)等等間接測(cè)量的真空計(jì),，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測(cè)量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō),，就是通過(guò)測(cè)量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測(cè)量氣體壓強(qiáng)（真空度）,，是一種類(lèi)似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測(cè)量方法,，,。由于測(cè)量原理上的先天不足，這類(lèi)真空計(jì)的測(cè)量精度,、測(cè)量穩(wěn)定度是很不好的,。其測(cè)量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%）,，尤其是在低真空段,，誤差更大，另外,，使用過(guò)電阻計(jì),、熱偶計(jì)的度知道，這些儀表測(cè)量前還需要零點(diǎn),、滿度校正,，怎么能夠用于在線測(cè)量控制呢？另外,，遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無(wú)法測(cè)量了,，如果要測(cè)，也查表?yè)Q算,，到底真空度是多少,？猜吧。
不過(guò),，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易,、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過(guò)電阻計(jì)的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心,。許多人抱怨花了3,、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測(cè)量機(jī)理的真空傳感器,。所以選擇真空計(jì),、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類(lèi)型的,，而不是數(shù)字,、智能，測(cè)量機(jī)理陳舊,，再怎么數(shù)字,、怎么智能，也于事無(wú)補(bǔ)的,。
現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,，涉及的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來(lái)越高,，特別是對(duì)測(cè)量精度、穩(wěn)定性要求,、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高,，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,，甚***成功與否,。在精細(xì)化工、真空冶煉,、真空單晶爐,、真空熱處理、真空浸漬,、真空冷凍干燥,、真空絕緣處理、電真空器件,、半導(dǎo)體材料生產(chǎn),、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出,。
許多新設(shè)備,、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果,，往往就是因?yàn)檎婵諟y(cè)控儀表選型不當(dāng),、其實(shí)際的測(cè)量控制精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。
當(dāng)然,，薄膜真空計(jì)也不是*的,，首先是價(jià)格高，國(guó)內(nèi)一般是4-6千元,，量限低的貴些,；進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只左右；其次，國(guó)內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂,，需要經(jīng)常校正,，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊,，國(guó)內(nèi)材料科學(xué)相對(duì)落后造成的,，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小,，國(guó)內(nèi)的不超過(guò)3個(gè)數(shù)量級(jí),。第三是國(guó)產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞,，有油污進(jìn)去很難清洗,，要用丙酮，清洗挽救13往往會(huì)報(bào)廢,，小量程的23會(huì)壞,。
所以，我們需要有一種具有國(guó)產(chǎn)價(jià)格,、進(jìn)口品質(zhì)的,、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì),。緊跟*的真空測(cè)量新技術(shù),，我們能夠做得到的。
分析國(guó)外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢,？一是陶瓷薄膜真空壓力測(cè)量技術(shù),、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規(guī)模厚膜電路（國(guó)內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放）,，將薄膜電容測(cè)量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化,，做在陶瓷基片上，另外,，將智能儀表電路微型化,，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬,、精度高,、體積小,；（其典型代表如萊寶627,、英福康TCBG等等）,。學(xué)習(xí)和引進(jìn)*核心技術(shù),，采用*新型IC,根據(jù)我國(guó)真空設(shè)備配套測(cè)控儀表的特點(diǎn),，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了,。根據(jù)國(guó)內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣,，控制柜上數(shù)字面板表，還是經(jīng)常使用的,，采用專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的具有真空測(cè)控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表,，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測(cè)量的精度,、分辨率,、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動(dòng)控制功能,，（可以配接任何一種模擬量,、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活,、更方便）
實(shí)踐證明,，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī),、真空單晶爐、氣氛真空爐,、,、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測(cè)量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高,，可以快速升級(jí)為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備,。當(dāng)然，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室,、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器,，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上
而我們的真空設(shè)備的真空度測(cè)量控制常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì),、熱偶計(jì)等等間接測(cè)量的真空計(jì),，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測(cè)量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō),，就是通過(guò)測(cè)量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測(cè)量氣體壓強(qiáng)（真空度）,，是一種類(lèi)似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測(cè)量方法,，,。由于測(cè)量原理上的先天不足，這類(lèi)真空計(jì)的測(cè)量精度,、測(cè)量穩(wěn)定度是很不好的,。其測(cè)量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%）,，尤其是在低真空段,，誤差更大，另外,，使用過(guò)電阻計(jì),、熱偶計(jì)的度知道，這些儀表測(cè)量前還需要零點(diǎn),、滿度校正,，怎么能夠用于在線測(cè)量控制呢？另外,，遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無(wú)法測(cè)量了,，如果要測(cè)，也查表?yè)Q算,，到底真空度是多少,？猜吧。
不過(guò),，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易,、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過(guò)電阻計(jì)的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心,。許多人抱怨花了3,、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測(cè)量機(jī)理的真空傳感器,。所以選擇真空計(jì),、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類(lèi)型的,，而不是數(shù)字,、智能，測(cè)量機(jī)理陳舊,，再怎么數(shù)字,、怎么智能，也于事無(wú)補(bǔ)的,。
現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,，涉及的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來(lái)越高,，特別是對(duì)測(cè)量精度、穩(wěn)定性要求,、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高,，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,，甚***成功與否,。在精細(xì)化工、真空冶煉,、真空單晶爐,、真空熱處理、真空浸漬,、真空冷凍干燥,、真空絕緣處理、電真空器件,、半導(dǎo)體材料生產(chǎn),、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出,。
許多新設(shè)備,、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果,，往往就是因?yàn)檎婵諟y(cè)控儀表選型不當(dāng),、其實(shí)際的測(cè)量控制精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。
當(dāng)然,，薄膜真空計(jì)也不是*的,，首先是價(jià)格高，國(guó)內(nèi)一般是4-6千元,，量限低的貴些,；進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只左右；其次，國(guó)內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂,，需要經(jīng)常校正,，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊,，國(guó)內(nèi)材料科學(xué)相對(duì)落后造成的,，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小,，國(guó)內(nèi)的不超過(guò)3個(gè)數(shù)量級(jí),。第三是國(guó)產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞,，有油污進(jìn)去很難清洗,，要用丙酮，清洗挽救13往往會(huì)報(bào)廢,，小量程的23會(huì)壞,。
所以，我們需要有一種具有國(guó)產(chǎn)價(jià)格,、進(jìn)口品質(zhì)的,、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì),。緊跟*的真空測(cè)量新技術(shù),，我們能夠做得到的。
分析國(guó)外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢,？一是陶瓷薄膜真空壓力測(cè)量技術(shù),、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規(guī)模厚膜電路（國(guó)內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放）,，將薄膜電容測(cè)量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化,，做在陶瓷基片上，另外,，將智能儀表電路微型化,，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬,、精度高,、體積小,；（其典型代表如萊寶627,、英福康TCBG等等）,。學(xué)習(xí)和引進(jìn)*核心技術(shù),，采用*新型IC,根據(jù)我國(guó)真空設(shè)備配套測(cè)控儀表的特點(diǎn),，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了,。根據(jù)國(guó)內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣,，控制柜上數(shù)字面板表，還是經(jīng)常使用的,，采用專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的具有真空測(cè)控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表,，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測(cè)量的精度,、分辨率,、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動(dòng)控制功能,，（可以配接任何一種模擬量,、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活,、更方便）
實(shí)踐證明,，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī),、真空單晶爐、氣氛真空爐,、,、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測(cè)量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高,，可以快速升級(jí)為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備,。當(dāng)然，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室,、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器,，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上