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天津港東科技股份有限公司>> SGC-10薄膜測厚儀

SGC-10薄膜測厚儀

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  • SGC-10薄膜測厚儀
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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌 港東科技
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市
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更新時間:2018-04-25 07:33:31瀏覽次數(shù):1325

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產(chǎn)品簡介

SGC-10薄膜測厚儀,,適用于介質(zhì),,半導(dǎo)體,,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量,。該薄膜測厚儀,是我公司與美國new-span公司合作研制的,,采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù),,基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)。

詳細介紹

強大的軟件功能:

界面友好,,操作簡便,,用戶點擊幾下鼠標就可以完成測量。便捷快速的保存,、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強大,,可同時測量多達四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù),。材料庫中包含了大量常規(guī)的材的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù),。用戶可以非常方便地自行擴充材料數(shù)據(jù)庫。

 

產(chǎn)品功能適用性:

該儀器適用于多種介質(zhì),,半導(dǎo)體,,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。

 

典型的薄膜材料為:

SiO2,、CaF2,、MgF2、光刻膠,、多晶硅,、非晶硅、SiNx,、TiO2,、聚酰亞胺、高分子膜,。

 

典型的基底材料為:

SiGe,、GaAsZnS,、ZnSe、鋁丙烯酸,、藍寶石,、玻璃、聚碳酸酯,、聚合物,、石英。

儀器具有開放性設(shè)計,,儀器的光纖探頭可很方便地取出,,通過儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount的顯微鏡(顯微鏡需另配),就可以使本測量儀適用于微區(qū)(>10μm,,與顯微鏡放大率有關(guān))薄膜厚度的測量,。

技術(shù)指標:

 

名稱

參數(shù)

厚度范圍

20nm-50um(只測膜厚),

100nm-10um(同時測量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)

根據(jù)薄膜材料的種類,,其范圍有所不同,。

準確性

<1nm或<0.5%

重復(fù)性

0.1nm

波長范圍

380nm-1000nm

可測層數(shù)

1-4

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺

290mm*160mm

光源

長壽命溴鎢燈(2000h)

光纖

純石英寬光譜光纖

探測器

進口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V,50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm


 

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