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初步了解無塵烘烤箱
閱讀：1208發(fā)布時(shí)間：2020-7-24
Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰,、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤,、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示,、LCD,、TP、CMOS,、IS,、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門,；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥,、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn),。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用,，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊,，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),，過濾效率99.99%,，Class 100,排氣口：3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),，溫度場分布均勻,，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度,。
設(shè)備簡介：
1,、箱體結(jié)構(gòu)：
烘箱由箱體部分、電器控制柜,、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方,；
箱體材料：外箱采用SUS304 ,，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔,，可防止微塵,；
內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,，并經(jīng)堿性蘇打水清潔,，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE,；
中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,，并經(jīng)堿性蘇打水清潔,，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2,、溫控系統(tǒng)：
采用日本“神港”溫度控制器,，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動(dòng)演算,、薄膜設(shè)定,，準(zhǔn)確度±0.3%FS。
訊號(hào)來源：采用PT100熱電阻±0.5%,。
輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出,。
3、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器,、控制線路保險(xiǎn)絲裝置,、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置,、馬達(dá)過電流保護(hù),、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器,、門面安全開關(guān)
4,、選購設(shè)備：
可程式溫控器 無紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
艾德生儀器有限公司主營產(chǎn)品：寧波高溫老化房設(shè)備-大型高溫老化房設(shè)備
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