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真空泵-中國應(yīng)用
1.液環(huán)泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,，但在中國的石油、化工,、電力,、輕紡、造紙,、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場,。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,，僅次于干泵,，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),，不斷擴大在中國的*,。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高,，屬勞動密集型產(chǎn)品,，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進設(shè)計,，縮小體積,，減輕重量，提率,，降低能耗,。
2.滑閥泵
由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐,、鍍膜機以及干燥,、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重,，加工工作量較大,，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴,。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入市場,，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油,，提高滑閥泵長期運行的可靠性,。
3.直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大,。由于這種泵數(shù)量很多,，加工裝配工作量很大，價格又很低,，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠,。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠比國外的泵便宜,，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速,、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
4.羅茨泵
從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,，國外幾家大公司,，如Leybold、Balzers,、Alcal,、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,，這5家總計才20%,，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多,。目前,，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間,、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲,，*解決軸封漏油問題,，改進泵的外觀質(zhì)量,，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。
目前,，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求,，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級,。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵,。目前,，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工,、塑料,、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡,、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
5.分子泵
分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,，尤其是濺射,、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長,。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板,，稱之為低溫分子泵,，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走,。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點,。首先，分子泵要從小到大建立完整系列,，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵,、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要,。
6.干泵
國外干泵市場的不斷增長,，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。在日本,，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵,、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等,。極限壓力從10Pa～10-2Pa,，抽速從20m3／h～500m3／h。據(jù)統(tǒng)計,，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,，國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴,。所以,，中國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為中國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點,。