X射線熒光（XRF）能用于測(cè)定周期表中多達(dá)83個(gè)元素所組成的各種形式和性質(zhì)的導(dǎo)體或非導(dǎo)體固體材料,，其中典型的樣品有玻璃,、塑料、金屬,、礦石、耐火材料,、水泥和地質(zhì)物料等,。凡是能和X射線發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而要分析的樣品必須經(jīng)受在真空（4~5Pa）環(huán)境下測(cè)定,，與其他分析技術(shù)相比,，XRF具有分析速度快，穩(wěn)定性和精密度好以及動(dòng)態(tài)范圍寬等優(yōu)點(diǎn),。
X-熒光光譜儀工作原理
X-熒光光譜儀有兩種類型：一種是波長(zhǎng)色散型（WDX）,，一種是能量色散型（EDX），我公司（INNOV-X中國(guó)服務(wù)中心）使用的是波長(zhǎng)色散型（XRF分析儀）,，在WDX中,，熒光光譜通過色散元件（如晶體）被分離成不連續(xù)的波段，然后用氣體正比計(jì)數(shù)器或閃爍計(jì)數(shù)器檢測(cè),，其主要組成是X光管,、初級(jí)準(zhǔn)直器、晶體,、次級(jí)準(zhǔn)直器和探測(cè)器,，及輔助裝置如初級(jí)濾光片等。
SDD探測(cè)器
X熒光儀共有2個(gè)探測(cè)器,即流氣正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器,裝在探測(cè)器架上,可程控切換.
掃描式X射線熒光儀安裝的是具有很大測(cè)定靈活性的測(cè)角儀,，只要配備了必要的分析晶體就能按序分析周期表上多達(dá)83個(gè)元素,。
此外，測(cè)角儀還可以使用半定量分析元件如QuantAS,，這些軟件能快速分析未知樣品,，而不需要使用標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)做儀器校準(zhǔn)。而我公司ARL9800XP熒光光譜儀裝有一個(gè)測(cè)角儀（掃描道）和一個(gè)衍射道,，如果需要還可以再裝14個(gè)固定道,，它配有12位樣品交換器，可以設(shè)定自動(dòng)進(jìn)樣,。
X射線熒光光譜儀的基本原理
被測(cè)試樣進(jìn)入光譜儀后,，受到來自X光管發(fā)出的X射線光束激發(fā)，產(chǎn)生X熒光,，X射線熒光是指用X射線管或其它合適的輻射源照射物質(zhì)時(shí),，使組成物質(zhì)的原子產(chǎn)生具有特征性的一種次級(jí)X射線，X光管發(fā)射的光譜是有靶材元素（Rh銠）的特征譜和連續(xù)譜（或稱白色輻射）所組成,，來自樣品的輻射是由X光管光譜和樣品中各元素的特征譜所組成的混合光,，這種混合光被引入測(cè)角儀所組成的色散系統(tǒng)分光,，分光后所得的譜線和被測(cè)樣品中存在的元素有關(guān),。
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