X射線熒光的物理原理：當(dāng)材料暴露在短波長X光檢查,，或伽馬射線,，其組成原子可能發(fā)生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢,，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子,，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，在外軌道的電子會“回補”進入低軌道,，以填補遺留下來的洞,。
在“回補”的過程會釋出多余的能源，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的,。因此,，物質(zhì)放射出的輻射，這是原子的能量特性,。主要使用X射線束激發(fā)熒光輻射,。
透射測定
光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來測定。在可見和近紫外實現(xiàn)這些測量沒有任何困難,。測量通過第一個單色儀的光通量,，緊接著測量通過兩個單色儀的光通量，以這種方式來確定第二個單色儀的透射率,。
絕對測量需要知道單色儀的絕對透射率：對于相對測量,，以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當(dāng)大的實驗困難,，因此通常使用輔助單色儀,。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實驗步驟中已成功地避免了校準(zhǔn)上的困難,。
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