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對于擁有ICP-AES技術(shù)背景的人來講，ICP-MS是一個(gè)以質(zhì)譜儀作為檢測器的等離子體(ICP),，而質(zhì)譜學(xué)家則認(rèn)為ICP-MS是一個(gè)以ICP為源的質(zhì)譜儀,。事實(shí)上,，ICP-AES和ICP-MS的進(jìn)樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測量的是光學(xué)光譜(165～800nm),，ICP-MS 測量的是離子質(zhì)譜,，提供在3～250amu范圍內(nèi)每一個(gè)原子質(zhì)量單位(amu)的信息，因此,，ICP-MS除了元素含量測定外,，還可測量同位素。

檢出限

ICP-MS的檢出限給人極深刻的印象,，其溶液的檢出限大部份為ppt級(必需記牢,，實(shí)際的檢出限不可能優(yōu)于你實(shí)驗(yàn)室的清潔條件)，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級,，ICP-AES大部份元素的檢出限為1～10ppb,，一些元素在潔凈的試樣中也可得到令人注目的亞ppb級的檢出限。必須指出,，ICP- MS的ppt級檢出限是針對溶液中溶解物質(zhì)很少的單純?nèi)芤憾缘?，若涉及固體中濃度的檢出限，由于ICP-MS的耐鹽量較差,，ICP-MS檢出限的優(yōu)點(diǎn)會(huì)變差多達(dá)50倍,，一些普通的輕元素(如，S,、Ca,、Fe、K,、Se)在ICP-MS中有嚴(yán)重的干擾,，也將惡化其檢出限。