膜厚檢測儀,，分為手持式和臺(tái)式二種，手持式又有磁感應(yīng)鍍層測厚儀,，電渦流鍍層測厚儀,，熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應(yīng)原理時(shí)，利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,，來測定覆層厚度,。也可以測定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小，來表示其覆層厚度,。
膜厚檢測儀,，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時(shí)·產(chǎn)生低能量的光子,，俗稱為二次熒光,，在通過計(jì)算二次熒光的能量來計(jì)算厚度值。
膜厚檢測儀采用磁感應(yīng)原理時(shí),，利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,，來測定覆層厚度。也可以測定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小,，來表示其覆層厚度,。覆層越厚，則磁阻越大,，磁通越小,。利用磁感應(yīng)原理的測厚儀，原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度,。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上,。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）,。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時(shí),，儀器自動(dòng)輸出測試電流或測試信號(hào)。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,，測量感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的大小,，儀器將該信號(hào)放大后來指示覆層厚度。電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻,、鎖相,、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù)，利用磁阻來調(diào)制測量信號(hào),。還采用設(shè)計(jì)的集成電路,，引入微機(jī)，使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提（幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)量級(jí)）?，F(xiàn)代的磁感應(yīng)測厚儀,，分辨率達(dá)到0.1um，允許誤差達(dá)1%,，量程達(dá)10mm,。
頻交流信號(hào)在測頭線圈中產(chǎn)生電磁場，測頭靠近導(dǎo)體時(shí)，就在其中形成渦流,。測頭離導(dǎo)電基體愈近,，則渦流愈大，反射阻抗也愈大,。這個(gè)反饋?zhàn)饔昧勘碚髁藴y頭與導(dǎo)電基體之間距離的大小,，也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。由于這類測頭專門測量非鐵磁金屬基材上的覆層厚度,，所以通常稱之為非磁性測頭,。非磁性測頭采用頻材料做線圈鐵芯，例如鉑鎳合金或其它新材料,。與磁感應(yīng)原理比較,，主要區(qū)別是測頭不同，信號(hào)的頻率不同,，信號(hào)的大小,、標(biāo)度關(guān)系不同。與磁感應(yīng)測厚儀一樣,，渦流測厚儀也達(dá)到了分辨率0.1um,，允許誤差1%，量程10mm的水平,。
膜厚檢測儀采用電渦流原理的測厚儀,，原則上對(duì)所有導(dǎo)電體上的非導(dǎo)電體覆層均可測量，如航天航空器表面,、車輛,、家電、鋁合金門窗及其它鋁制品表面的漆,，塑料涂層及陽極氧化膜,。覆層材料有一定的導(dǎo)電性，通過校準(zhǔn)同樣也可測量,，但要求兩者的導(dǎo)電率之比至少相差3-5倍（如銅上鍍鉻）,。雖然鋼鐵基體亦為導(dǎo)電體，但這類任務(wù)還是采用磁性原理測量較為合適,。
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