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★基于電離電荷的采樣技術(shù)

HZK系列真空度測(cè)試儀采用電離電荷的采樣技術(shù),。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸,、所用材料一定時(shí),，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性,。因此,，我公司*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性,。

★ 漏電電流的處理

對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異,。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng),。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流,，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度,。

★ 判別*漏氣的真空滅弧室

在HZK-VB型機(jī)中，通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣,。

★ PC機(jī)控制測(cè)量,、計(jì)算漏率、形成測(cè)量數(shù)據(jù)庫

這部分是選配件,。通過界面進(jìn)行管型,、電流或真空度、所用數(shù)據(jù)庫的整定,，由PC機(jī)控制整個(gè)測(cè)量過程,、顯示測(cè)量結(jié)果并將數(shù)據(jù)存入整定時(shí)的數(shù)據(jù)庫,。同一只真空滅弧室在兩次測(cè)量后，可通過界面控制進(jìn)行漏率計(jì)算,。

★ 內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸,、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),，其放電電荷量是不同的,，并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量,，對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線,。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),，通過數(shù)學(xué)處理,，將其特征參數(shù)送入HZK系列產(chǎn)品。因此,，HW系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線,。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。

★完善的輸入保護(hù)電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),，測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,，瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊,。HW的信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)（重新開機(jī)即可）,，也不會(huì)造成電路部分的損壞,。

技術(shù)參數(shù)

●測(cè)量范圍：1×10^-5～1×10^-1Pa

●測(cè)量誤差：1×10^-4～1×10^-1 Pa中誤差＜10％

●測(cè)量分辨率：10^-5Pa

●漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿。

●允許環(huán)溫：0℃～55℃

●空氣濕度：<85%RH

●電源：AC220±l0%

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