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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-16 13:14:25瀏覽次數(shù)：4871
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
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Laurell650甩膠機(jī)(英文名：Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 型號WS-650Mz-23NPPB (美國NIST*工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證） 1,、產(chǎn)品概述： 2,、甩膠機(jī)工作原理： |
三,、勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點：
1,、該甩膠機(jī)采用美國*技術(shù)：
2、Laurell甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計,，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方,；
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成,，具有良好的光潔度及平整度,，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐,，軸向有彈性墊及調(diào)整墊,，可保障主軸具有較高的精度。
4,、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時間,，1秒至99分59.9秒任意范圍，時間增加精度0.1秒,；
5,、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬,，加速度高,。*階段，通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘,，使膠液得以平鋪開,，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM,，旋轉(zhuǎn)時長從幾秒鐘到幾分鐘,，如此既可以得到幾百個納米到數(shù)十個微米之間的均勻薄膜，也是可以無極變速的,。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜,。
6,、高精度數(shù)碼控制器，美國Laurell甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,，其設(shè)置點精度小于0.006%,。通過PLC控制系統(tǒng)，運(yùn)行干擾小,，可靠性高,。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好,，更直觀便捷,，用戶可靈活編制、儲存,、調(diào)用和修改工藝參數(shù),。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段都能設(shè)定51步速度改變,，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能,。650S系列，除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分,，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達(dá)80000RPM/S,，低則可達(dá)1RPM/S）,。MSC-650S型可以通過USB通訊接口連接電腦，以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作,。對于每次實驗結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試,，并挑選出好的制備過程，所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存,，完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級,。
7、高精度甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12,000 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）[分辨率：<0.5 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：±0.5 轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的,，并且無需再校準(zhǔn),！]
8、在安裝結(jié)構(gòu)上,，采取了減振措施,，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻,，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度,。
9、甩膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能,，或壓縮空氣,、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用,。
