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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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FR-pRo基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)
基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) FR-pRo
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間:2024-05-16 21:22:34瀏覽次數(shù):2832

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【產(chǎn)品創(chuàng)新點(diǎn)】 基礎(chǔ)型膜厚儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。$r$n創(chuàng)新點(diǎn):$r$n1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。$r$n2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為12nm - 120μm,。 $r$n3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。$r$n4,、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。$r$n5,、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘,。$r$n6、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng),。$r$n7,、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓,。$r$n8,、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算
【簡(jiǎn)單介紹】
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,汽車
品牌:希臘ThetaMetrisis
名詞:膜厚儀 膜厚儀,、測(cè)厚儀,、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x
干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器,。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量,,從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量,。
【詳細(xì)說明】

FR-pRo VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm

Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。

小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),,分辨精度可達(dá)3648像素,, 16位級(jí) A/D 分辨精度;配有USB通訊接口,;

光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化鋁面板,,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ¼”) 口徑鉆孔,,用以安裝光學(xué)部件,。

樣品放置臺(tái),配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié),。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),,可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。

Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),,

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度,;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率,;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),,可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,,透射率和反射率的測(cè)量,,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用,。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片,;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片,;

D) 反射光學(xué)探針

系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm

 



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