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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間:2024-05-16 21:22:34瀏覽次數(shù):2832
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,汽車 |
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FR-pRo VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm : Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。 小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),,分辨精度可達(dá)3648像素,, 16位級(jí) A/D 分辨精度;配有USB通訊接口,; 光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz. 10mm厚度的氧化鋁面板,,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ¼”) 口徑鉆孔,,用以安裝光學(xué)部件,。 樣品放置臺(tái),配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié),。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),,可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。 Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),, 可精確計(jì)算如下參數(shù): 1)單一或堆積膜層的厚度,; 2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率,;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),,可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,,透射率和反射率的測(cè)量,,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用,。 C) 參考樣片: a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片; b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片,; c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片,; D) 反射光學(xué)探針 系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm; |