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邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-16 16:49:28瀏覽次數(shù)：3081
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
二,、美國PIE等離子清洗機的特點
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器,；
2,、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作,；
3,、標配75W版本，可選150W版本,；
4,、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理,、光刻膠蝕刻,。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三,、美國PIE等離子清洗機技術參數(shù)
1,、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式,。
2）程序控制：可編程,，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟,。
2,、反應腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：2.6L,；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米,，深度：280毫米,。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz,；
2）射頻功率：標配0~75W,；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W,；,。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度,。
2）外置電極設計,，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5,、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC,；可選配三路MFC；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量,；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。
