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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |

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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-16 16:49:28瀏覽次數(shù):2982
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
二,、美國PIE等離子清洗機的特點
1,、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器;
2,、7英寸觸摸屏控制界面,,全自動操作;
3,、標(biāo)配75W版本,,可選150W版本;
4,、系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻,。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化,。
三、美國PIE等離子清洗機技術(shù)參數(shù)
1,、控制系統(tǒng)
1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,,支持多種工作方式。
2)程序控制:可編程,,總共有20個程序,,每個程序有3個清潔步驟。
2,、反應(yīng)腔體
1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙,;
2)腔體容積:2.6L;
3)腔體尺寸:內(nèi)徑:110毫米,,深度:280毫米,。
3、射頻電源
1)射頻頻率:13.56MHz,;
2)射頻功率:標(biāo)配0~75W,;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選0~150W,;,。
4、等離子源
1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度,。
2)外置電極設(shè)計,,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1)氣路控制:標(biāo)配一路MFC,;可選配三路MFC,;
2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量;
3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。