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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-05-16 16:31:45瀏覽次數(shù)：3075
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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一、產(chǎn)品概述：
SPIN德國(guó)勻膠機(jī)150i型適應(yīng)于半導(dǎo)體,、化工材料,、硅片、晶片,、基片,、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆,。MYCRO的SPIN系列勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性，這正是SPIN150i型勻膠機(jī)的特點(diǎn),。
二,、勻膠機(jī)工作原理：
SPIN德國(guó)勻膠機(jī)150i型（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān),。
三,、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo)：
1、腔體直徑：8英寸 (202 毫米),；
2,、Wafer芯片尺寸：10-160mm直徑的材料，4英寸方片,；
3,、轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps,；
4,、加速度：30000RPM/S；
5,、轉(zhuǎn)速精度: ±0.1rpm,；
6、程序段數(shù)：無限制,；
7,、操作步數(shù)：無限制；
8,、旋轉(zhuǎn)時(shí)間：無限制*,，±0.1 Second steps；
9,、旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針,，逆時(shí)針，交換擺動(dòng),；
10,、擴(kuò)展接口：1個(gè)USB接口；
11,、馬達(dá)保護(hù)：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可關(guān)閉）,；
12、排廢連接：1” M-NPT,；
13,、觸屏控制：全彩觸摸屏控制界面；
