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邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-16 13:28:08瀏覽次數(shù)：5772
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 |
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650勻膠旋涂儀(英文名：Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹：勻膠機(英文名：Spin Coater& Spin Processor)
行業(yè)俗稱：勻膠臺、勻膠機,、旋涂儀,、涂膠機、鍍膜機,、涂層機
型號：WS-650Mz-8NPP
一,、產(chǎn)品概述：
650勻膠旋涂儀適應于半導體、化工材料,、硅片,、晶片、基片,、導電玻璃等工藝,，制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,，可以保證半導體中膠厚度的*性和均勻性,，這正是650型勻膠機的特點。
二,、勻膠機工作原理：
勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
三,、勻膠機主要性能指標：
1,、腔體尺寸：12.5英寸 (381 毫米)；
2,、Wafer芯片尺寸：10-200mm直徑的材料,，方片178x178mm，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）,；
3,、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm,，
4,、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）,；
5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 < ±1%,；
6,、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm,；
7,、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；
8,、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì),，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方,；
9,、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%,。
10,、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài),；
11,、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的,，并且無需再校準！]
12,、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流,，50/60赫茲；
13,、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件,；
14、*水平測試儀,；
15,、兩袋密封圈；
16,、廢液接收單元,；
可選配置：
IND構造為濕站系統(tǒng)設計，帶遠程控制,；
OND構造為手套箱系統(tǒng)設計,，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，
EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊,，機械裝置,；
