蒸餾水:通過蒸餾冷凝制得的水所以里面的無機(jī)鹽會(huì)含的很少.如果只是經(jīng)過一次蒸餾得到的水里面雖然那些不揮發(fā)的組分（鹽類）被除去但水中揮發(fā)的組分（氨,、二氧化碳、有機(jī)物）還是會(huì)進(jìn)入蒸餾水中.

雙蒸水:兩次蒸餾

三蒸水:三次蒸餾

超純水:超純水又稱高純水,，是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除,，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水,，,。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導(dǎo)率小于0. 1μs/cm。常見純化儀器:NANOpure或Milli-Q

去離子水:應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子,，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物,，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖,。 從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子 然后加壓通過反滲透膜 zui后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物 假如此時(shí)電阻率還沒有達(dá)到要求的話 可以再進(jìn)行一次離子交換和反滲透過程 而蒸餾水只是先氣化再冷凝 純度一般不如去離子水 實(shí)際半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是去離子水.

無菌水:通常是通過高溫蒸汽法,UHT熱法,化學(xué)法,臭氧方法和物理過濾法將水中微生物殺死或過濾掉而得到的水,水中的無機(jī)鹽等一般來說不會(huì)減少.