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美國MKS真空計技術交流主題
2018-7-3 閱讀(4985)
美國MKS真空計（Vacuum Gauge）,，c真空表,，是測量真空度或氣壓的儀器,。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量,。在科研和工業(yè)生產中廣泛使用,。
按照美國MKS真空計測量原理所利用的不同的物理機制,，可將主要的美國MKS真空計分為三大類,，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的美國MKS真空計,。
美國MKS流量計型號及功能原理介紹,，美國MKS流量計利用力學性能的美國MKS真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型美國MKS真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應的典型美國MKS真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī)
波爾登規(guī)
細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉,，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應的氣壓值,。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
美國MKS流量計在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化,，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高,。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,，使用前一般需要預熱數小時,。
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻美國MKS真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,。
美國MKS流量計由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同,，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,，將有效提高測量的準確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,，只是它不用測量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子，產生離子,，由收集極收集產生的離子,，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定,。
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa,。
美國MKS 主要產品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關,MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥。
1179B23CR14V-SPC 626B11TDE 999-42 1579A00 422LS1BV 0248A-14 128 1179A01353CS1BV 220DA-00010B2B 223BD-00001AAB 1559A00451LG1BV 626A11TDE 626A13TED 1179A13CS1BV.MFC N2 1000SCCM 1179A13CS1BV.MFC N2 3000SCCM 2179A23CS1BV.MFC N2 2000SCCM 2179A23CS1BV.MFC N2 1000SCCM 626A01TDE 1179A01552CR1AV 1179A06352CR1AV 579A01351LM3BV/VIPON50SLM 627BX01MCC9B 1179BX23CR14VSPC1/V1ton 1579A01351LM3BV/VIPON50SLM M100B01334CS1BV 1179MFC, CH4 500CCM, 1/4'' , Tube,， 15PIN D 1179MFC, H2S 500CCM, 1/4'' , Tube,， 15PIN D 1179MFC, CO 500CCM, 1/4'' , Tube， 15PIN D 1179MFC, O2 500CCM, 1/4'' , Tube,， 15PIN D 247D
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