真空鍍膜設(shè)備主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射,，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種,。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種,。

　　真空鍍膜的維護(hù)事項(xiàng)

　　1,、真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次,。

　　方法是：用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),，反應(yīng)后膜層脫落,，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢,。

　　2,、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),，需更換新油,。

　　方法是：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油,，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,，使泵內(nèi)的舊油排放出來(lái)。擰回放油螺栓,，加入新油至額定量(油視鏡觀察),。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開(kāi),，用布擦干凈箱內(nèi)污垢,。

　　3、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,，抽速明顯變慢,，或操作失當(dāng)，充入大氣,，拆去聯(lián)結(jié)水管,，卸下電爐盤(pán)，將一級(jí)噴嘴擰出,，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水清洗干凈,，待水份揮發(fā)干以后,，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油,，并裝回機(jī)體,，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機(jī),。在重新開(kāi)機(jī)前,，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維持泵,，關(guān)好大門(mén),，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,，否則要進(jìn)行檢漏,。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈,。排除漏氣隱患后方可加熱,，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài),。