真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類,，包括真空離子蒸發(fā),，磁控濺射，MBE分子束外延,，PLD激光濺射沉積等很多種,。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

　　真空鍍膜的維護事項

　　1,、真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,，應(yīng)清潔工作室一次。

　　方法是：用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落,，并釋放出氫氣,。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。

　　2,、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,，旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半)，需更換新油,。

　　方法是：擰開放油螺栓,，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒,，使泵內(nèi)的舊油排放出來,。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀察),。連續(xù)使用半年以上,，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。

　　3,、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng),，充入大氣,，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤,，將一級噴嘴擰出,，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍,，然后用清水清洗干凈,，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽,，加入新擴散泵油,，并裝回機體，接好水管,，裝好電爐盤,，便可以重新開機。在重新開機前,，要注意檢漏工作,。方法是：啟動維持泵，關(guān)好大門,，數(shù)分鐘后,，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏,。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,，否則擴散泵油會燒環(huán),，無法進入工作狀態(tài)。