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離子減薄儀的原理和操作說明
離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器,。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸暂^小的耗費(fèi)將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來,。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作，低能量離子槍功能為其所配備,，對能量敏感性樣品的減薄特別適合,。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合,。陶瓷,、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途,。
氬氣的電離采用高壓來進(jìn)行,，在電場是作用下，電離后的氬離子對樣品表面進(jìn)行轟擊,。在氬離子的持續(xù)轟擊下,，樣品慢慢減薄，一直到使透射電鏡觀察要求滿足,，此即為離子減薄儀的工作原理,。
減簿及觀察：
1、對所需的減薄時(shí)間進(jìn)行設(shè)定,。
2,、對工作電壓進(jìn)行設(shè)定（通常設(shè)定成4或者5Kev）
3、對離子槍工作模式進(jìn)行設(shè)定（通常設(shè)定成雙離子束調(diào)變）
4,、對左右離子槍工作角度進(jìn)行調(diào)整（通常為±4度）
5,、將氬氣工作模式調(diào)整為自動(dòng)氣體
6、對載臺轉(zhuǎn)速進(jìn)行設(shè)定（通常是3RPM）
7,、對啟動(dòng)進(jìn)行點(diǎn)擊開始工作,。
8,、在工作期間能夠?qū)iewing 選項(xiàng)進(jìn)行點(diǎn)擊，通過CCD來對樣品減薄情況進(jìn)行觀察,。
9,、樣品穿孔后能夠?qū)Φ碗妷哼M(jìn)行更換繼續(xù)減薄，一直到薄區(qū)良好,。