會(huì)員.png)
16
當(dāng)前位置：河南榮程聯(lián)合科技有限公司>>技術(shù)文章>>徠卡離子束切割儀主要技術(shù)參數(shù)
徠卡離子束切割儀主要技術(shù)參數(shù)
離子束切割儀用于樣品的截面制備及平面拋光,，用于掃描電子顯微鏡 (SEM),、微觀結(jié)構(gòu)分析 (EDS,、WDS,、Auger,、EBSD) 和 AFM 科研工作,。
Leica EM TIC 3X 通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品,，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割"截面,，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品,，并且操作簡單,，可有效避免涂抹效應(yīng)，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面,，使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息,。
徠卡離子束切割儀主要技術(shù)參數(shù)：
1.可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm
2.三把離子槍,，離子束能量1keV-10keV,，切割速率300μm/h (Si@10kV, 3.5mA, 100μm切割高度)
3.離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),，無投影效應(yīng),，熱傳導(dǎo)性好
4.可進(jìn)行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍
5.真空泵解耦合設(shè)計(jì),，無震動(dòng)傳導(dǎo)
6.觸摸屏操作面板,，直觀、簡易操作,，可編程可軟件升級(jí)
7.可選配：液氮制冷冷臺(tái)+30至 -160℃,，25L液氮罐及自動(dòng)泵，具有自動(dòng)快速制冷功能
8.可選配：三樣品臺(tái),，可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品