氬離子拋光儀利用氬離子拋光技術，通過離子束對樣品表面進行削平拋光處理,，以便利用掃描電鏡等顯微觀察工具觀察樣品表面的微觀特征。
 

　　氬離子拋光儀的原理：
 

　　氬離子拋光技術是對樣品表面進行拋光，去除損傷層,，從而得到高質(zhì)量樣品，用于在掃描電鏡,，光鏡或者掃描探針顯微鏡上進行成像,、EDS,、EBSD、CL,、EBIC或其它分析,。針對不同的樣品的硬度，設置不同的電壓,、電流,、離子槍的角度、離子束窗口,，控制氬離子作用的深度,、強度、角度,、這樣較ng準的參數(shù),，有利于制備成研究者理想的材料樣品，這樣的樣品不僅表面光滑無損傷,，而且還原材料內(nèi)部的真實結構,，正如頁巖內(nèi)部的細微孔隙在掃描電鏡下放大到10K時也能看得清清楚楚，以及材料內(nèi)部的不同物質(zhì)分層都能看的分界線明顯,。
 

　　氬離子拋光儀的切割和拋光兩項功能：
 

　?、倥錅乜匾旱鋮s臺，去除熱效應對樣品的損傷,，有助于避免拋光過程中產(chǎn)生的熱量而導致的樣品融化或者結構變化;
 

　?、谂涮?鉻鍍膜，對于同一個樣品,，可在同一真空環(huán)境下完成拋光及鍍膜,，防止樣品氧化，可以用于SEM/FIB導電鍍膜樣品制作,。
 

　　氬離子拋光在材料制樣的特出優(yōu)點：
 

　?、賹τ捎膊牧虾蛙洸牧辖M成的復合材料樣品,能夠很精細地制作軟硬接合部的截面,而使用傳統(tǒng)方法制樣是很困難的。
 

　?、诒菷IB方法的拋光面積更大(~1mm以上),。
 

　　氬離子拋光儀可以運用于各種材料樣品(除了液態(tài))的制備，適應大多數(shù)材料類型,，對大面積,、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳：鋼鐵、地質(zhì),、油頁巖,、鋰離子電池、光伏材料,、薄膜,、半導體,、EBSD、生物材料等包括平面拋光與截面拋光,。