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對于真空度的標(biāo)識通常有兩種方法:
真空泵種類 | 起動(dòng)壓強(qiáng)(Pa) | |
1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
1×105 | 1×105—6.7×10-1 | |
1×105 | 水環(huán)式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
1.3×103 | 羅茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
1.3—1.3×10-5 | 渦輪分子泵 | 1.3 |
1×105 | 水蒸氣噴射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
1.3×10-7 | 油擴(kuò)散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
<1.3×105 | 油蒸氣噴射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
1×105 | 分子篩吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
6.7×10-1 | 濺射離子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
1.3×10-2 | 鈦升華泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10 | 鋯鋁吸氣劑泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 | 低溫泵 | 1.3—1.3×10-11 |
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