隨著電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代，顯示屏的清晰度和色彩等要求越來越高,。尤其手機(jī)更是如此,， 每出一款新的手機(jī)，顯示屏的對比度和光亮度,、高速度等性能就會有一個質(zhì)的飛躍。我們今天來看看 TFT-LCD 內(nèi)部基板會是一個什么樣的結(jié)構(gòu)呢,？
本文就某個 TFT-LCD 的玻璃基板,，采用氬離子束進(jìn)行截面切割，然后上掃描電鏡觀察截面線路的結(jié)構(gòu),。
取樣
玻璃基板一般是表面有一層膜,，考慮到膜層非常的薄且軟。制備的時候需要對其保護(hù),。 我們先從一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小樣塊,。可以采用玻璃刀裁剪,。
樹脂邊緣保護(hù)
采用可快速固化的 AB 膠,，混合均勻后涂覆在樣品有膜層的一邊?？刂茦渲暮穸炔灰^ 30um,。然后放在加熱臺上 60 度保溫，加速樹脂的固化,。大約 2 小時后樹脂就已經(jīng)wan全固化,，就可以進(jìn)行下一步。
截面磨平
隨意選取一個截面,，放置在1000號的砂紙上進(jìn)行截面磨平,。如果條件允許，最好在磨拋機(jī)上進(jìn)行磨平,。研磨的過程中控制力道,，注意不要把玻璃基板磨碎，膜層破損嚴(yán)重的情況發(fā)生,。
離子束
磨平后,，我們就可以上氬離子束進(jìn)行切割。目的是把研磨殘留的損傷采用離子束切割的方式去除,。完整保留玻璃基板的內(nèi)部結(jié)構(gòu),。
電鏡觀察
可以看到玻璃基板上的膜層線路結(jié)構(gòu)，每層的厚度和排列情況清晰可見,。
放大1萬倍后線路圖
所用儀器：
徠卡三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X
*來自徠卡顯微系統(tǒng)合作代理商 廣州領(lǐng)拓貿(mào)易有限公司的投
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