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徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易...

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數(shù)碼顯微鏡在微電子和電子行業(yè)的應(yīng)用

閱讀:630      發(fā)布時(shí)間:2023-12-7
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微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來越小,,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn),。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過顯示器進(jìn)行觀察的特點(diǎn),,讓微電子的觀察效率有了很大的提高,。


控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時(shí),一些微電子器件的生產(chǎn),,如硬盤驅(qū)動(dòng)器,,要求對(duì)其各個(gè)部件進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm),。需要使用數(shù)碼顯微鏡對(duì)零件快速進(jìn)行大視野成像,,以及精準(zhǔn)的尺寸計(jì)量。從而滿足更快的改進(jìn)制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求,,優(yōu)化整個(gè)工作流程,。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結(jié)果,。本報(bào)告的重點(diǎn)將是大視野,、測(cè)量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。


  • 自動(dòng)跟蹤和存儲(chǔ)的可重復(fù),,顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼),,例如,使用的倍數(shù),,照明和相機(jī)設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn),;

  • 超大變焦范圍16:1,鏡頭切換支持熱插拔,;

  • 二維尺寸測(cè)量及三維尺寸測(cè)量

  • 快速角度旋轉(zhuǎn),,傾斜角度不同視角觀察樣品;

  • 集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,,具有多方向的照明模式,;

  • 數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機(jī),高畫質(zhì)成像,;

  • XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,,可拍攝大范圍大景深的圖像;

徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,,例如在電子零件領(lǐng)域用于測(cè)量硬盤驅(qū)動(dòng)器上零件通孔的直徑,、周長(zhǎng)和深度分布,以及焊點(diǎn)的長(zhǎng)度,、面積和高度分布,。

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硬盤驅(qū)動(dòng)器圖示


總結(jié)

微電子和電子工業(yè)與日俱增,需要更快更便宜的設(shè)備生產(chǎn),同時(shí)滿足不斷提高產(chǎn)品規(guī)格的要求,。從而導(dǎo)致制造商的工作流程變得更為復(fù)雜,,對(duì)工作流程的效率要求也越來越高。DVM6數(shù)碼顯微鏡無目鏡,,直接觀察顯示器的特點(diǎn)以及符合人體工學(xué),,無論是在產(chǎn)品創(chuàng)新、研究和開發(fā)(R&D),、生產(chǎn),、質(zhì)量控制與保證(QC/QA)或失效分析(FA),都能大大提高工作效率,,減少成本增加效益,。


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