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簡(jiǎn)要分析了電子材料的特點(diǎn)；電子材料和器件多為復(fù)合材料,，軟硬材質(zhì)結(jié)合較多,，比如碳化硅基底的柔性材料，材料結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，制樣前處理方法多樣,，或者大范圍包埋或者小區(qū)域局部包埋再進(jìn)行磨拋處理。


 

根據(jù)材料特性介紹電鏡觀察的注意事項(xiàng)以及對(duì)材料制備的要求,。電子材料多有粘結(jié)劑,，填充料等存在，此種材料多為不導(dǎo)電的高分子或無(wú)機(jī)材料,，電鏡觀察時(shí)需要注意樣品的導(dǎo)電處理及選擇合適的觀察信號(hào)類(lèi)型,，如期間內(nèi)部的線(xiàn)路排布，由于和基底材料的材質(zhì)不同元素差異大,，一般選擇背散射信號(hào)觀察效果更好,，為了減少荷電效應(yīng)，一般采用低電壓低束流模式進(jìn)行觀察。

對(duì)于掃描電鏡觀察的平整斷面制備,，一般需要先切至目標(biāo)位置附近,，再做離子束的處理。徠卡精研一體機(jī)EM TXP機(jī)械處理電子材料,，一般不需要復(fù)雜包埋即可實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)加工和磨拋,，如果結(jié)構(gòu)信息宏觀則可以直接進(jìn)行光鏡或電鏡或原子力的觀察分析，如果要求高,，則將樣品磨拋至目標(biāo)位置附近50微米左右,，再裝入離子束進(jìn)行無(wú)應(yīng)力加工。徠卡三離子束EM TIC 3X為散焦型離子槍?zhuān)庸ぎa(chǎn)熱低,，熱量聚集效應(yīng)不明顯,，對(duì)于耐熱程度差的電子材料加工，優(yōu)勢(shì)非常顯著,。樣品固定時(shí)，除了常用樣品托可選擇多功能樣品托,，樣品形狀不規(guī)則,，也可進(jìn)行加工處理。當(dāng)需要冷凍加工時(shí),，徠卡冷凍臺(tái)降溫速度快,，30min左右即可降溫至-120℃，大大提高了工作效率,。徠卡的三離子束設(shè)備,，可選配多個(gè)樣品臺(tái)，有常溫切割的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái),，大面積拋光的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),，冷凍加工的冷凍臺(tái)，一次可以裝載3個(gè)樣品的三樣品臺(tái),，以及可以做液態(tài)樣品的冷凍傳輸樣品臺(tái),。滿(mǎn)足各個(gè)類(lèi)型的樣品的加工。