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　　世界上臺電子顯微鏡在1931年誕生于柏林，它是由M. Knoil和E. Rusk通過改裝一臺可拆卸的高速陰**線管示波器而制成的,，具有3個透鏡,，是采用冷陰極電子源的透射式電子顯微鏡。1934年,，M. Knoil和E. Rusk將分辨率提高到500Å,。
 

　　掃描電子顯微鏡原理
 

　　掃描電鏡 (Scanning ElectronMicroscope ),簡寫為 SEM,是一個復(fù)雜的系統(tǒng)；濃縮了電子光學(xué)技術(shù)真空技術(shù),、精細(xì)機械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計算機控制技術(shù),。掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過多級電磁透鏡匯集成細(xì)小的電子束。在試樣表面進(jìn)行掃描,激發(fā)出各種信息,，通過對這些信息的接收、放大和顯示成像,，以便對試樣表面進(jìn)行分析,。入射電子與試樣相互作用產(chǎn)生如圖 1所示的信息種類,。這些信息的二維強度分布隨試樣表面的特征而變 (這些特征有表面形貌、成分,、晶體取向,、電磁特性等) ，是將各種探測器收集到的信息按順序,、成比率地轉(zhuǎn)換成視頻信號,，再傳送到同步掃描的顯像管并調(diào)制其亮度，就可以得到一個反應(yīng)試樣表面狀況的掃描圖,。如果將探測器接收到的信號進(jìn)行數(shù)字化處理轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號,，就可以由計算機做進(jìn)一步的處理和存儲。掃描電鏡主要是針對具有高低差較大,、粗糙不平的厚塊試樣進(jìn)行觀察,，因而在設(shè)計上突出了景深效果，一般用來分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面,。
 

　　電子顯微鏡與金相顯微鏡
 

　　一,、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像,。
 

　　二,、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面,，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號,，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
 

　　三,、分辨率不同：金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用,，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源,，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間,，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析,。
 

　　四,、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有*的要求,，所以其的制樣過程相對比較復(fù)雜,。而掃描電鏡則有很大的景深，視野大,，成像富有立體感,，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。