如今,，離子束蝕刻技術(shù)是應(yīng)用廣泛的電子顯微鏡樣品制備方法。在蝕刻過程中,，高能氬離子束轟擊樣品,，并根據(jù)其應(yīng)用領(lǐng)域調(diào)整離子束能量和切割角度。
在制備掃描電子顯微鏡樣品時(shí),，離子束蝕刻可改善或修改樣品表面質(zhì)量,。
首先，離子束刻蝕能夠清潔,、拋光或增加表面的襯度。經(jīng)離子束處理的樣品表面足以適用于各種靈敏的表面性能測試方法（如EBSD）,。
另外,，離子束刻蝕也可以通過斜面切割制備樣品的橫截面,。
徠卡EM TIC 3X是一款離子束研磨儀，用于制備掃描電子顯微鏡樣品,?？梢灾苽錁悠返臋M截面以及大面積表面,。
樣品的橫截面還可以使用低能離子束再次處理。該處理過程既可以清洗橫截面,，也能增強(qiáng)其襯度,。
另外，EM TIC 3X可以通過離子束拋光工藝改進(jìn)樣品的機(jī)械拋光表面,。樣品表面的最大離子束制備直徑為
25mm,，最大樣品直徑為38mm。
離子束拋光可以清洗,、拋光樣品表面,，并增強(qiáng)其襯度,，可以在一臺儀器中完成所有類型的掃描電子顯微鏡樣品制備流程。
該儀器配備了一個模塊化的系統(tǒng),，可配置5種適用于不同應(yīng)用的樣品臺：標(biāo)準(zhǔn)樣品臺，冷凍樣品臺,，多樣品臺,，旋轉(zhuǎn)樣品臺和預(yù)抽真空系統(tǒng)，用以轉(zhuǎn)移冷凍樣品或易氧化的樣品,。EM TIC 3X的各樣品臺之間可以輕松轉(zhuǎn)換。
標(biāo)準(zhǔn)樣品臺適用于眾多不同尺寸,、形狀和材料的樣品。冷凍樣品臺可制備對熱敏感的樣品,，以防樣品熱損傷,。最后,，多樣品臺無須操作人員干預(yù)即可連續(xù)制備3個樣品，保證高樣品制備效率,。
旋轉(zhuǎn)樣品臺可以處理直徑達(dá)38mm的樣品表面。
整個樣品制備過程和進(jìn)展可以通過體視顯微鏡實(shí)時(shí)觀察,。另外,，也可以選配內(nèi)置相機(jī)拍攝存儲樣品照片。
TIC3X是一款將所有組件結(jié)合在一個外殼內(nèi)的臺式儀器,。該儀器采用三離子束技術(shù)。三離子束與擋板擋板邊緣相交形成100°的切割扇區(qū),。該儀器使用鞍形場離子源,，在離子束電壓10kV和電流3 mA的條件下,，切割速率可達(dá)300 µm/小時(shí)。
使用三離子束技術(shù)無需在離子研磨過程中移動樣品,。
我們將在下面詳細(xì)討論這項(xiàng)技術(shù)帶來的眾多益處。這些優(yōu)點(diǎn)確保了高水平的制備質(zhì)量,。
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徠卡顯微系統(tǒng)（上海）貿(mào)易有限公司 |
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