懸臂式三坐標(biāo)測量機的一些關(guān)鍵檢驗要點：
幾何精度檢驗
工作臺面與移動平面平行度：檢驗工作臺面與X、Y移動平面的平行度,，確保測量基準(zhǔn)的準(zhǔn)確性,。
移動直線度：檢驗X、Y,、Z向移動的直線度,，每個坐標(biāo)軸都有兩個方向的直線度要求。
移動角度變化：檢驗X,、Y,、Z方向移動的角度變化，每個坐標(biāo)軸有3個方向的角度變化要求,。
移動相互垂直度：檢驗X,、Y、Z方向移動的相互垂直度,，總共有3個垂直度要求,。
測量精度檢驗
示值誤差（MPEE）：沿各坐標(biāo)軸測得的三坐標(biāo)測量機位置讀數(shù)與基準(zhǔn)長度測量系統(tǒng)讀數(shù)的差值，主要為坐標(biāo)位置的點位精度,。檢驗時,，需通過比較不同長度尺寸實物標(biāo)準(zhǔn)器的校準(zhǔn)值和指示值，評價坐標(biāo)測量機是否符合規(guī)定的最大允許示值誤差,。通常使用三等量塊作為標(biāo)準(zhǔn)器,，在測量空間的多個方向進行測量，重復(fù)測量多次以獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù),。
探測誤差（MPEP）：通過確定測量點到最小二乘擬合球球心距離的范圍,，評價三維探測誤差是否符合規(guī)定的最大允許探測誤差。檢驗時,，在標(biāo)準(zhǔn)球上選取多個探測點進行探測,，探測點須均布，并計算高斯擬合球以得出探測誤差,。
其他性能檢驗
動態(tài)誤差：主要來源于測量部件運動過程中由于加速度造成的變形,，特別當(dāng)測量面是曲面時，測量頭作向心加速度運動將產(chǎn)生動態(tài)誤差,。動態(tài)誤差一般不超過靜態(tài)誤差的10%~30%,。
重復(fù)性：在相同條件下,，多次測量同一位置的偏差程度。高重復(fù)性意味著測量結(jié)果更加穩(wěn)定可靠,。
環(huán)境適應(yīng)性：檢驗三坐標(biāo)測量機在不同溫度,、濕度等環(huán)境條件下的工作穩(wěn)定性和測量準(zhǔn)確性。
檢驗方法與設(shè)備
使用標(biāo)準(zhǔn)器：如量塊,、標(biāo)準(zhǔn)球等,，作為檢驗的基準(zhǔn)。
激光干涉儀：可用于校準(zhǔn)三坐標(biāo)測量機的各軸運動精度,，測量各軸在運動過程中的實際位移，并與測量機控制系統(tǒng)所顯示的位移進行對比,。
遵循操作規(guī)范：嚴(yán)格按照測量機的操作手冊和校準(zhǔn)規(guī)范進行操作,，確保檢驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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